Академия наук республики узбекистан

ФИЗИКА
-
ТЕХНИКА ИНСТИТУТИ ВА САМАРҚАНД ДАВЛАТ 
УНИВЕРСИТЕТИ ҲУЗУРИДАГИ ФАН ДОКТОРИ ИЛМИЙ 
ДАРАЖАСИНИ БЕРУВЧИ 16.07.2013.FM/T.12.01 РАҚАМЛИ 
ИЛМИЙ КЕНГАШ 
ТОШКЕНТ ДАВЛАТ ТЕХНИКА УНИВЕРСИТЕТИ
АШУРОВ ХАТАМ БАХРОНОВИЧ 
ПОЛИКРИСТАЛЛ КРЕМНИЙ ОЛИШНИНГ МОНОСИЛАНЛИ 
ТЕХНОЛОГИЯСИ ВА КРЕМНИЙ СТРУКТУРАЛАРИНИ 
ЯРАТИШНИНГ ИОНЛИ СТИМУЛЛАШГАН УСУЛЛАРИ 
 
01.04.04 
–
 Физик электроника 
(техника фанлари) 
 
 
 
 
 
 
 
 
МАЪРУЗА ШАКЛИДАГИ ДОКТОРЛИК ДИССЕРТАЦИЯСИ 
Тошкент 
–
 2016 
3 

---

Маъруза шаклидаги докторлик диссертацияси мавзуси Ўзбекистон Республикаси 
Вазирлар Маҳкамаси ҳузуридаги Олий аттестация комиссиясида 30.06.2015/B2015.2.Т522 
рақам билан рўйхатга олинган. 
Маъруза шаклидаги докторлик диссертацияси Ўзбекистон Республикаси Фанлар академияси 
Ион
-
плазма
ва лазер технологиялари институтида бажарилган.
Маъруза шаклидаги докторлик диссертацияси уч тилда (ўзбек, рус, инглиз) Илмий кенгаш
веб
-
саҳифасига
(
www.fti-kengash.uz
)
ва «Ziyonet»
ахборот таълим порталига (
www.ziyonet.uz
)
жойлаштирилган.
 
 
 
Расмий оппонентлар: 
Расулев Уткир Хасанович 
физика
-
математическа фанлари доктори, профессор, 
академик
Эгамбердиев Бахром Эгамбердиевич
физика
-
математическа фанлари доктори, профессор
Рахматов Ахмад Зайнидинович
техника фанлари доктори
Етакчи ташкилот