Маъруза шаклидаги докторлик диссертацияси мавзуси Ўзбекистон Республикаси Вазирлар Маҳкамаси ҳузуридаги Олий аттестация комиссиясида 30.06.2015/B2015.2.Т522 рақам билан рўйхатга олинган.
Маъруза шаклидаги диссертация мавзусининг долзарблиги ва зарурати. Бугунги кунда электроника ва қуёш энергетикаси талабларини қондириш учун жаҳонда ишлаб чиқариладиган йиллик 300 минг тоннадан ортиқ поликристалл кремнийнинг аксарият қисми кремнийнинг хлорли бирикмаларидан водородни тиклаш усули ёрдамида олинади. Мавжуд хлорсиланли технологияларнинг юқори энергия талаблилиги, атроф муҳитга салбий таъсири сақланиб қолиниши туфайли поликремний ишлаб чиқаришнинг тежамкор ва экологик хавфсиз технологияларини ишлаб чиқиш ва саноатда жорий қилиш муҳим аҳамият касб этади.
Жаҳонда кейинги беш йил давомида поликристалл кремнийга бўлган талаб икки ҳисса ошиши кутилаётган бир пайтда хлорсиланли технологиялар ўрнига энергия сарфини кескин камайтириш имконини берувчи моносиланли технологияларни жорий қилиш алоҳида аҳамият касб этиб бормоқда. Лекин ҳозирги кунда таклиф қилинаётган моносиланли технологиялар ҳам хлорли жарёнларга асосланганлиги туфайли уларга хос экология ва улкан капитал харажатлар муаммолари ечимсиз қолмоқда. Бу муаммонинг ечими моносилан орқали кремний олиш жараёнида кечадиган гетроген катализ реакциялар шарт-шароитлари ва механизмларини комплекс тадқиқ қилиш, металлургик кремний ва спиртларнинг бевосита реакцияси ва алкоксисиланлар диспропорцияси жараёнлари, уларда қўлланиладиган катализаторларнинг таъсир механизмлари, ҳамда уларни фаоллаштириш шароитларини ўрганишни талаб қилади.
Тадқиқотнинг республика фан ва технологиялари ривожланиши- нинг устувор йўналишларига боғлиқлиги. Мазкур тадқиқот республика фан ва технологиялари ривожланишининг II. «Энергетика, энергия ва ресурстежамкорлик» ва III. «Қайта тикланувчи энергия манбаларидан фойдаланишни ривожлантириш» каби устувор йўналишлари доирасида бажарилган.
Тема докторской диссертации в виде научного доклада зарегистрирована под номером 30.06.2015/B2015.2.Т522 в Высшей аттестационной комиссии при Кабинете Министров Республики Узбекистан.
В мире по разработке моносилановых технологий производства поликристаллического кремния, а также по формированию сложных гетероструктур и других кремниевых структур с применением ионно- стимулированных методов получен ряд результатов, в том числе следующие: разработан вибрационный реактор кипящего слоя, работающий при высоком давлении и низких температурах (SiTec Applied Research, Германия); достигнуто резкое сокращение расхода энергии при производстве гранулированного поликристаллического кремния в реакторе кипящего слоя (REC Silicon, США); разработан способ получения в реакторе кипящего слоя грунулированного поликремния электронного качества из моносилана (SunEdison inc., США); уменьшено напряжение кремниевых структур при молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) путем ионной стимуляции и управления ростовых процессов и сформирован интерметаллический слой с повышенной твердостью при ионно-активированом электронно-лучевом физическом осаждении пара (Stuttgart University, Германия); определена эффективность воздействия ионной составляющей на процессы зародышеобразования при степени ионизации потока от 10-4 (Iowa State University, АҚШ); исследованы физические процессы, имеющие место при ионном облучении поверхности роста легированных широким спектром примесей слоев кремния в методе молекулярно-лучевой эпитаксии, а также разработаны физические основы примесного легирования слоев кремния и слоев твердого раствора кремний-германий в условиях низкоэнергетического ионного облучения (Нижегородский государственный университет, Россия).
Considering the growth of silicon demand in next 5 years, it is neccesarry to apply a monosilane technology instead of treechlorsilane one in new plants. Since the monosilane technology is realized for lower temperatures and has high conversion of precursors, it is possible to spare up to 90% of energy in production of granulated polysilicon in boiling-layer reactors as compared to the traditional Siemens process. But today monosilane technology which is applied in industry aslo based on chlorsilane procceses and requers big CAPEX and still remains not ecology-safe, thats why this problem still needs a solution. A cardinal solution of this problem could be a monosilane technology based on direct reaction of metallurgical silicon and low alcohols. The presence of the induction period in the direct reaction of metallurgical silicon and low alcohols prevents the application of this technology in the industry. A big knowledge about the mechanism and conditions of heterogen catalysis reaction need to solve this problem. A direct reaction of metallurgical silicon and low alcohols and disproportionation of alcoxysilanes, mechanism of influence of catalysis, activation procces are not studied enough.
