Академия наук республики узбекистан

разделения и контроля потока 
заряженных частиц и устройства
для его осуществления
– 
ионного зонда 
получен патент на «Способ разделения и контроля потока заряженных 
частиц и устройство
для его осуществления»
(IAP 02958, 31.12.2005). С 
помощью предложенных решений: достигнуто повышение уровня 
легирования путем ионно
-
стимулированного встраивания атомов сурьмы в 
кристаллическую решетку кремния во время роста; проведена ионно
-
стимулированная
релаксация
напряжения в гетероструктурах
кремния
-
германий; сформирован массив наноостровков германия на поверхности 
кремния методом ионно
-
стимулированной молекулярно
-
лучевой эпитаксии
и 
показано увеличение плотности и сужение их функции распределения по 
размерам
при ионном облучении; обнаружено проявление при температурах 
выше 500К тепловольтаических
свойств кремниевых
плёночных
p-n
структур, полученных
ионно
-
стимулированным вакуумным осаждением; 
созданы
промежуточные
слои
с химическим сродством и градиентным 
переходом для корректировки теплобарьерных покрытий ионно
-
стимулированным методом;
на 
разработку 
моносилановой 
технологии 
получения 
поликристаллического кремния и создание экспериментальной установки 
привлечена иностранная инвестиция со стороны южнокорейской компании 
57 

---

OCI на сумму 500
тысяч
долларов США (Акт от 06.12.2012 года о 
завершении работ по Контракту между Институтом ионно
-
плазменных и 
лазерных технологий и Компанией OCI от 17.08.2010 года). Кроме 
подверждения
высокого уровня разработки интересом одной из ведущих 
компаний, входящая в
первую тройку крупных производителей поли
-
кремния, привлеченная инвестиция позволила создать на базе лаборатории 
новую инновационную технологическую установку и оснастить лаборатории 
современными приборами и оборудованием;
заключен
договор о предоставлении лицензии на изобретение по 
патенту «Способ разделения и контроля потока заряженных частиц и 
устройство
для его осуществления»
IAP 02958 (Договор регистрирован в 
АИС РУз №SIP
4/2016 от
01.04.2016г, «Расмий ахборотнома», №5 (181), 2016 
г., стр.238). Этим лицензионным
договором
открывается
возможность 
внедрения разработки в производство, а также реализации высоко
-
технологическую продукцию на внутренем и внешнем рынках.