Академия наук республики узбекистан

2.1
-
расм. 
Кремний 
электрон 
буғлатгичида ионлашув жараёни
Кремний атомининг электрон 
зарба натижасида ионлашиш 
эҳтимоли электрон дастанинг 
оқим зичлиги
F
e
ва ионизация 
кўндаланг кесими 
a
кўпайтмаси 
орқали 
ифодаланади. 
Бу 
эхтимолликни кремний атомлари 
зичлигига 
n
Si
кўпайтирган холда 
ионизация қийматини 
g
ion
вақт ва 
хажм 
бирлигида
топамиз
(тенглама (
2.
1) ва 2.2
-
расм)
. 
g
ion
=F
e
·a·r
Si
 
. 
(
2.
1)
 
2.2
-
расм. 
n
Si
зичликга ва 
a
 кўндаланг кесимга 
эга бўлган кремний атомларини 
F
e
электрон 
оқимлари билан таъсирида ионлашуви 
 
Электрон 
нурли 
буғлатгич 
конструкцияси ва унинг эксплуатация 
шароитлари 
(электрон 
нурнинг 
фокусланиши, тезлатувчи кучланиш, кремний тигелининг аҳволи) буғлатиш 
ва ион генерациясига таъсири ўринли бўлсада, электрон нур оқими 
зичлигига, ҳамда эритилма ҳарорати ва катталигига, 
n
Si
- 
кремний атомлари 
оқими зичлигига бевосита таъсир ўтқазувчи асосий параметр 
I
ESV
- 
эмиссия 
токидир. 
Электрон 
буғлатгич 
шунингдек, хар турли радиация ва 
кўп сонли қайтган ва иккиламчи 
электронларни нурлатади.
2.3
-
расм. Ўлчов монитори 
–
ион 
зондининг 
МНЭ 
қурилмасида 
жойлашуви 
 
Ушбу электронлар эритилма устида 
магнит майдони таъсирига тушганда 
ҳосил бўлувчи ионлар харакатчанлигига ва буғлатгичнинг хизмат даврига 
27 

---

таъсир ўтказади. Электрон буғлатгич ва тигелнинг нурланиши ва ўринсиз 
буғларидан камера ва МНЭ қурилмасининг бошқа ишчи элементларини 
ҳимоялаш мақсадида ер потенциалига уланган экран ўрнатилган (2.3
-
расм).
Таглик потенциали
 
Таглик сиртига тушувчи ионлар зичлиги учта механизмга боғлиқ: 
биринчидан, электрон
буғлатгичда ҳосил бўлувчи ионлар сони (генерация); 
иккинчидан, ионларнинг рекомбинацияланиш ёки ташқи экранга 
урилишидан олдин электрон буғлатгич экрани аппертураси орқали чиқиб 
кетиши эҳтимоллиги (экстракция), учинчидан, ионларнинг таглик мазказига 
бориб урилиши эҳтимоллиги (фокусланиш). Ионларнинг экстракцияси, 
фокусланиши
ва энергияси тагликка узатиладиган кучланиш
– 
таглик 
потенциали 
U
sub 
ёрдамида ўзгартирилиши мумкин (2.3
-
расм). Ион
-
нурли 
фокусланиш
ва электрон буғлатгич ва тагликнинг бир бирига нисбатан 
жойлашуви ионларнинг таглик сиртидаги нотекис тақсимотининг келтириб 
чиқариши мумкин. 
Электрон буғлатгичдан чиқаётган ионларнинг 
электронлар билан аралашган оқими таглик контакти орқали ўлчаниши 
мумкин бўлган 
I
Sub 
токи ҳосил қилади. Аниқ ўлчаш
учун ионлар ва 
электронлар токлари бир биридан ажралиши зарур.
Ионлар оқимини ўлчаш
 
Ионлар ва электронлар токлари ажратиш ва ўлчаш имконини берувчи 
мониторинг тизими ишлаб чиқилиб,
МНЭ қуримасига ўрнатилди. Кремний 
атомлари, ионлар ва электронлар бир биридан ажратилиши экранланган корпус 
ичида жойлаштирилган 
±
U
pl
қарама қарши потенциали остидаги электродлар 
ёрдамида ажратилади (2.4 
- 
расм).