Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Эпитаксиал қатламларнинг профиль бўйича
кимёвий таркиби

Бирор монокристаллнинг юза қисмида плёнкалар ҳосил қилганимизда маълум бир оптимал ҳароратгача қиздирмагунча плёнканинг чуқурлик бўйича таркиби ҳар хил бўлади. Масалан, ҚФЭ усули билан CoSi₂ плёнкасини ҳосил қилиш учун Si нинг юзасига Со ўтказилади. Аммо, хона ҳароратидаёқ диффузия ҳисобига плёнкада ҳам, асоснинг юза ва юза ости қисмларида ҳам элементар ҳамда кимёвий таркиб ҳар хил бўлиши мумкин.

5.5 – расм. Хона ҳарорати шароити учун Co/Si чегаравий
қатлами Со атомлари концентрациясининг чуқурлик (профиль) бўйича ўзгариши

5.5-расмдан кўринадики, идеал ҳолда 500 Е гача фақат Со бўлиб, кейин унинг концентрацияси тезда 0 га тенг бўлиши керак. Реал ҳолда эса плёнкадаги Со атомлари ўрнининг бир қисмини Si атомлари эгаллайди, асоснинг бир қисмини эса Со атомлари эгаллайди. Бунда атомлар аралашиб кетган қисмда кимёвий таркиб ҳам ҳар хил бўлиши мумкин. Масалан, Co₃Si, Co₂Si, CoSi, CoSi₂, CoSi₃, ... .

Қиздирилган ҳолда эса, кимёвий бирикмаларнинг ҳосил бўлиши кўпаяди. Фараз қилайлик, маълум ҳароратда эпитаксиал плёнка ҳосил бўлсин. Масалан, CoSi₂ учун эпитаксиал плёнка ҳосил қилиш учун оптимал ҳарорат 650⁰С бўлади.
5.6-расмдан кўринадики, энг идеалга яқин ҳолатда кимёвий таркиб уч қисмдан иборат бўлади:

1. 
   маълум бир қалинликдаги мукаммал эпитаксиал плёнка,
   
2. 
   ўтиш қатлами (у хам эпитаксиал, аммо таркиби ўзгариб боради),
   

3) асос, яъни Si.



5.6 - расм. CoSi₂/Si<100> учун С_Со ва С_Si концентрацияларнинг профиль (чуқурлик) бўйича жойлашиши

Плёнкаларнинг кимёвий ва элементар таркибини чуқурлик бўйича аниқлаш учун кўп ҳолларда Оже-электронларнинг спектроскопияси (ОЭС) усули юзаларни ионлар билан едириш усули билан бирга ишлатилади.

Бу усулда ионлар билан юза едирилади, бунинг учун қанча вақтда қанча едириш олдиндан калибровка қилинади, едирилган жойга электрон дастаси туширилиб, ОЭС усули ёрдамида элементар ва кимёвий таркиб аниқланади. Бу ҳолда тўғри ахборот олиш учун едирилган юзанинг катталиги электрон дастасининг диаметридан камида 5—6 марта катта бўлиши керак.