Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги


Кремнийни юқори вакуум шароитида МНЭ усули билан ўстириш



Download 5,49 Mb.
bet28/43
Sana12.04.2022
Hajmi5,49 Mb.
#544677
1   ...   24   25   26   27   28   29   30   31   ...   43
Bog'liq
Эпиксиал қатламлар ва гетеротизимлар

Кремнийни юқори вакуум шароитида МНЭ усули билан ўстириш

Бу усул замонавий микроэлектрониканинг ривожланиши ва наноэлектрониканинг қарор топишида энг асосий усул бўлиб хизмат қилмоқда. Бу усулда ўта юқори вакуум шароитида кремний атомлари буғлаттиргичдан учиб чиқиб, кремний пластинкасининг юзасига тушади. Асос-кремний пластинкаси 900-950К ҳароратда ушлаб турилади. Вақт ва ўзгариш тезлигига боғлиқ равишда керакли қалинликдаги эпитаксиал плёнка олинади.




5.2. Кремний эпитаксиал қатламларида кристаллографик нуқсонлар

Кремнийнинг эпитаксиал қатламларини ҳар хил монокристалларнинг юзасида ҳосил қилиш мумкин. Кремнийнинг панжараси куб шаклида бўлгани учун асоснинг панжараси ҳам куб бўлиши керак. Бундай куб панжарага эга бўлган материаллар қуйидагилар: Si, CaF2, CoSi2, GaAs ва бошқалар.


Агар кремний плёнкаси кремний юзасида ҳосил қилинса, автоэпитаксия дейилади, яъни бунда гомоген система ҳосил бўлади.
Кремнийнинг эпитаксиал плёнкаси бошқа материалнинг (CaF2, GaAs) юзасида ҳосил қилинса, гетероэпитаксиал плёнка дейилади.
Кремний плёнкасини ёки умуман ҳар қандай эпитаксиал плёнкаларни олганда унда нуқсонлар камроқ ҳосил бўлишида қуйидаги омиллар асосий роль ўйнайди:

  1. жуда юқори вакуумда ўстириш,

  2. асоснинг юқори даражада силлиқланганлиги ва тозалиги,

  3. атомлар манбаининг тозалиги.

Агар вакуум юқори бўлмаса, камерада мавжуд бўлган газ атомлари кремний билан бирга ўтириб (SiC, SiО2, SiS), кремнийникидан фарқ қиладиган марказлар ҳосил қилиши мумкин. Худди шу каби нуқсонлар кремний манбаи тоза бўлмаса ҳам пайдо бўлиши мумкин.
Асоснинг юқори даражада силлиқ ва тоза бўлишидан ташқари унга яна қуйидаги талаблар қўйилади:
- кристалл тузилишининг мослиги, панжара катталикларининг яқинлиги;
- юзада нотекисликларнинг йўқлиги, яъни юзада кристалл панжара бузилиши йўқ бўлиши;
- ҳарорат кенгайиш коэффициентлари деярли бир хил ёки жуда яқин бўлиши керак.
Демак, юқоридаги шартларнинг бажарилиши нуқсонларни имкони борича камайтиришга ёрдам беради. Умуман, эпитаксиал плёнкаларда қуйидаги турдаги нуқсонлар мавжуд бўлиши мумкин:
а) жойлашишга боғлиқ бўлган нуқсонлар,
б) иккиланишларнинг пайдо бўлиши,
в) оролчаларнинг чегаралари қўшилганда ҳосил бўладиган кичик бурчакларнинг пайдо бўлиши,
г) нуқтавий нуқсонларнинг тўпланиши,
д) дислокациялар.



Download 5,49 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   24   25   26   27   28   29   30   31   ...   43




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish