Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

VI. Уч қатламли металл-ярим ўтказгич-диэлектрик гетероэпитаксиал тизимлар 82

1. 
   Кубик панжарали материалларни эпитаксиал
   

ўстириш 82
VII. Икки компонентли ярим ўтказгичларни
эпитаксиал ўстириш 87
7.1. Молекуляр нурли эпитаксия (МНЭ) усули билан
GaAs плёнкасини ўстириш 87
7.2. GaAs ва унинг бирикмаларини металлоорганик
бирикмалар асосида газ фазали эпитаксиал ўстириш 91

3. 
   МНЭ усулида А^II В^VI, A^IV B^VI бирикмаларни ва
   

уларнинг қаттиқ эритмаларини яратиш 93
7.4. МНЭ усулида А^ В^V бирикмаларни ва уларнинг қаттиқ бирикмаларини яратиш 98
7.5. Эпитаксиал қатламлар юзасида контактлар
ҳосил қилиш 104
Адабиётлар 110
Муҳаррир М.М.Ботирбекова