Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

1.2. Эпитаксиянинг турлари, ўстириш усуллари

ИМСнинг ярим ўтказгичли структураларини қуйидаги учта жараённинг ҳеч бўлмаганда битта ёки иккитасини қўлламасдан туриб тайёрлаб бўлмайди: ярим ўтказгичли қатламларни эпитаксиал ўстириш, диффузияли ва ионли легирлаш.

Эпитаксия усули 60-йилларнинг бошида ишлаб чиқилди ва мукаммал асбоблар ҳамда қурилмалар яратишда пайдо бўлган кўпгина қийинчиликларни енгиб ўтиш имкониятини яратди. Бу усул билан юпқа қатламлар ва структуралар ҳосил қилинади.
Эпитаксия – монокристалл тагликларда монокристалл қатламлар ўстириш жараёнидир. Монокристалл тагликлар эпитаксиал қатлам ўсиши жараёнида кристалланиш рўй бераётган муртак сифатида ориентирловчи бўлиб хизмат қилади.
Эпитаксия жараёни вакуумда, газли ва суюқ фазаларда ўтказилиши мумкин. ИМС технологиясида кремний газли фазадан эпитаксия қилинади. Кремний эпитаксиясининг энг кўп тарқалган усули бу хлорид усули бўлиб, бунда кремний хлориди SiCl₄ водород H₂ ёрдамида қайтарилади. Ҳосил қилинаётган эпитаксиал қатлам хлор Cl билан ифлосланганлиги сабабли ва жараён ҳароратини пасайтириш мақсадида гидрид усули самарали ҳисобланади. ­­­­­­­­­­­­­­­­­
Эпитаксия усули кучли легирланган, ярим ўтказгичли пластина-тагликда шу ярим ўтказгичнинг кам киришмали юпқа қатламини ҳосил қилиш имкониятини беради. Жумладан бу қатламлар диодларда база, транзисторларда коллектор сифатида ишлатилади.
ИМС тайёрлашда қуйидаги эпитаксиал структуралар – эпитаксиал қат-ламлар ўстирилган тагликлардан фойдаланилади: бир қатламли, кўп қатламли, яширин қатламли ва гетероэпитаксияли. Эпитаксияли структуралар қуйидагича белгиланади: К – кремний; Д, Э – ковак (дырочной) ва электрон турли ўтказувчанлик; Б, С, М, Ф – легирловчи элементлар: бор, сурьма, маргимуш, фосфор.
Бир қатламли эпитаксиал структуралар ўтказувчанлиги n-тур бўлган кремнийли монокристалл пластиналарга p-турли қатламни автоэпитаксия қилиш жараёнида тайёрланади. Бир қатламли эпитаксиал структуралар сонли коэффициентли каср кўринишида белгиланади. Масалан,

Сонли коэффициент эпитаксияли структуранинг диаметрини кўрсатади (76мм), суратдаги биринчи сон эпитаксияли қатлам қалинлигини белгилай-ди (8 мкм), махраждаги – пластина қалинлигини кўрсатади (400 мкм). Суратдаги ва махраждаги иккинчи сон эпитаксияли қатлам (0,5 Омсм) ва тагликнинг (0,01 Омсм) солиштирма қаршилигига мос келади.