Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Кўп қатламли эпитаксияли структуралар p-турли кремний пластинасининг икки томонига ўтказувчанлик турлари ҳар хил бўлган қатламларни автоэпитаксия қилиш жараёнида тайёрланади. Кўп қатламли эпитаксияли структураларнинг белгланиши бир қатламли структураларнинг белгиланишига ўхшаш бўлиб, уч сатҳли бўлади.
Яширин қатламли эпитаксияли структуралар p-турли кремний пластиналарида кичик қаршиликли n⁺-кремнийли локал участкаларда фосфор билан легирланган n-турли ўтказувчанликли қатламни ўстириш йўли билан тайёрланади. Структуранинг белгиланиши ёзилиш тартиби бўйича қуйидагича: суратда – эпитаксиал қатламнинг қалинлиги (мкм); материал; ўтказувчанлик тури ва эпитаксиал қатламни легирловчи элемент; унинг солиштирма қаршилиги (Омсм); қалинлиги (мкм); яширин қатламнинг материали; ўтказувчанлик тури ва легирловчи элемент; унинг сирт қаршилиги (Ом/ ); махражда – эпитаксиал қатламнинг умумий қалинлиги (мкм); материал; ўтказувчанлик тури; легирловчи элемент; тагликнинг солиштирма қаршилиги (Омсм); тагликнинг ориентацияси ва ундан оғиш бурчаги (градусларда); асосли қирқимнинг ориентацияси ва оғиш бурчаги; структуранинг номинал диаметри (мм). Бундай белгилашга мисол:

Гетероэпитаксияли структуралар монокристалл тагликда ўтказувчанлиги n-турли ёки p-турли бўлган монокристалл қатламларни ўстириш билан тайёрланади.
Гетероэпитаксияли структураларни белгилашга мисол:
,
бу ерда суратда қатламнинг параметри келтирилган – қалинлиги 10 мкм, материал – кремний p-турли, бор билан легирланган, қатламнинг солиштирма қаршилиги 0,5 Омсм; махражда биринчи сон структуранинг диаметрини белгилайди – 60 мм, С ҳарфи – таглик материалини кўрсатади – сапфир, иккинчи сон – тагликнинг қалинлиги – 250 мкм.
Эпитаксиянинг турлари ва усуллари. “Эпитаксия” атамаси кристалл сиртида ориентирланган ҳолатдаги кристалл ўстириш жараёнини билдиради. Эпитаксияли қатлам кристалл тагликка ўтказилган монокристалл материал бўлиб, тагликнинг структураси (морфологияси) ни сақлаб қолади.