Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Пластина ва тагликларнинг сифатини назорат қилиш

Пластина ва тагликларни тайёрлаш технологик жараёнларида ишлов берилаётган объектларнинг назорати ҳамма механик операцияларда ўтказилади.

Жилвирлаш операциясидан кейин пластина қалинлигининг аниқлиги ±(2 - 5) мкм дан ошмаслиги керак. Қалинлик ФИП-2 қурилмаси, индуктив датчиклар ёрдамида аниқланади. Кейинги вақтларда геометрик параметрлар контактсиз усуллар ёрдамида назорат қилинмоқда. Бунда пластина ва тагликларга механик таъсирлар ўтказилмайди. Маҳсулотларнинг геометрик параметрлари УКТП-1, СПТ-1, ST-100 каби қурилмалар ёрдамида автоматик назорат қилинади.
Кўпинча маҳсулот сифати қуйидаги асосий мезонлар асосида баҳоланади.
1. Пластинанинг геометрик ўлчамлари ва шакли.
2. Пластина сиртининг қайта ишлов тозалиги.
3. Механик бузилган қатлам чуқурлиги.
1). Пластинани геометрик ўлчамлари ва шакли бўйича баҳолаш учун унинг қалинлиги бир неча нуқталарда ўлчанади, пластинанинг эгрилиги, понасимонлиги, текислиги текширилади.
2). Пластина сирти қайта ишлов тозалигини текширишда, силлиқликни баҳолашда эталон сирт билан солиштирилади ёки микро нотекисликларнинг баландлиги микроинтерферометрлар МИИ-4, МИИ-11 каби асбоблар ёрдамида аниқланади.
3). Механик бузилган қатлам чуқурлиги илмий текширув ва тажрибавий конструкторлик ишлари ўтказилаётган босқичларда, технологик жараёнларни созлаш босқичларида назорат қилинади.
Тозалаш жараёни ўтказилгандан сўнг таглик ва пластиналар сиртидаги ифлосликларни миқдорий ва сифат жиҳатдан назорат қилиш қуйидаги усуллар ёрдамида амалга оширилади:

1. 
   нурланувчи нуқталар усули;
   
2. 
   томчи усули, ёки ҳўлланишнинг чегара бурчагини ўлчаш;
   
3. 
   трибометрик усул;
   
4. 
   ювувчи эритмаларни назорат қилиш усули;
   
5. 
   ювувчи сувнинг солиштирма қаршилигини ўлчаш усули.
   
6. 
   

1.4. Кристалларнинг юзасига вакуумда ишлов бериш
(силлиқлаш ва тозалаш)

Вакуумда синдириб олинган ёки эпитаксиал усул билан олинган кристалларнинг юзасида силлиқлаш олиб борилмайди; аммо уларнинг тозалигини ва кристалл тузилишини янада яхшилаш учун ўта юқори вакуум шароитида лазер нурлари билан ишлов бериш ёки қиздириш мақсадга мувофиқ бўлади. Юзаси энг кўп нуқсонларга эга бўлган юза бу кристаллардан қирқиб олинган шайбаларнинг юзасидир. Бундай шайбалар аввалига шлифовка, кейин эса силлиқланади. Шлифовка шишанинг юзида махсус, ҳар хил диаметрли (d=1-10мкм) кукунларга шайбани ишқалашдан иборат жараёндир. Полировка эса махсус паста (олмос пастаси, гоя пасталари) ёрдамида шлифовка қилинган шайбани тиғиз юмшоқ материалларга (замш) ишқалаш орқали амалга оширилади. Айрим ҳолларда махсус эритмалардан ток ўтказиш орқали кристаллнинг юзаси электрополировка қилинади. Бундай шайбаларни кейинги тозалаш уларга юқори вакуум (P≤10^-6 Па) шароитида ҳарорат таъсирида, лазер нурлари, электронлар билан бомбардимон қилиш ва бошқа усуллар билан ишлов бериш орқали амалга оширилади. Айрим ҳолларда юзаларни қийин тозаланадиган аралашмалардан тозалаш учун унга инерт газ ионлари билан ишлов берилиб, кейин юқори ҳароратгача қиздирилади. Кўп ҳолларда ион билан ишлов бериш ва ҳарорат таъсирида қиздириш кетма-кет, ўнлаб марта қайтарилиши мумкин.

Юза қатламлардаги ўзгаришларга (нуқсонларга), релаксация ва реконструкциядан ташқари кристаллда мавжуд бўлган дислокациялар ҳам таъсир қилади. Дислокацияларнинг қуйидаги турлари мавжуд: 1) чеккали дислокация; 2) бурамали дислокация; 3) эгри чизиқли дислокация ва 4) аралашмали дислокация.
Дислокациялар алоҳида аҳамиятга эга бўлиб, у бошқа курсларда тўлиқ ўрганилади.
Юзалар маълум бир усуллар билан кимёвий тоза ва юқори даражада силлиқланган ҳолга келтирилмаса, бу юзалардан олинган маълумотлар нотўғри талқин қилиниши мумкин. "Юзани тайёрлаш" деганда қуйидаги 3 та катталикни имкони борича идеал ҳолатга яқинлаштириш тушунилади.