Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги олий таълим тизими педагог ва раҳбар кадрларини

Сканерловчи туннель микроскоплар 
(СТМ) ҳавода ѐки вакуумда, хона 
температурасида ѐки паст (криоген) температураларда ишлайди. СТМлар 
электр ўтказувчи қаттиқ жисмлар юзасини ўрганишга, масалан ИМСлар 
ишлаб чиқаришдаги технологик жараѐнларнинг турли босқичларида асос 
сиртини назоратлашга мўлжалланган (1.2 – расм).
 

---

III. НАЗАРИЙ МАТЕРИАЛЛАР 
21 
1.3 – расм. Сканерловчи туннель микроскоп
Атом – куч микроскоп 
(АКМ)
. 
СТМнинг асосий камчилиги намуна 
материалига қўйиладиган талаб – унинг албатта электр ўтказувчан бўлиши 
шартлиги билан боғлиқ. АКМда (1.3– расм) кантилевир игнасининг Ван- дер 
Ваалс кучлари таъсирида юзага нисбатан тортилиши ѐки итарилиши 
ишлатилади. Одатда асбобда олмос игна ишлатилади. Кантилевир игнаси ва 
намуна сирти атомлари орасидаги масофа бир ангестремга яқин бўлганда 
итариш кучлари, ундан катта масофаларда эса тортишиш кучлари таъсир 
этади (1.3– расм). Шундай қилиб, АКМ ѐрдамида ўрганилаѐтган намуна 
материали электр ўтказувчанлиги ихтиѐрий бўлиши мумкин. Махсус 
кантилевирлар ишлатилган ҳолда сиртнинг электр ва магнит хусусиятларини 
ўрганиш мумкин. АКМда ўрганилаѐтган намуна “таъсирлашув кучи тенг 
юзалар” бўйлаб сканерланади. АКМ 1986 йилда АҚШда Герд Биннинг ва 
Кристоф 
Герберлар 
томонидан 
ихтиро 
қилинган. 
АКМ 
сирт 
нотекисликларини 
ўрганиш 
учун 
ва 
юзадаги 
нанообъектларни 
манипуляциялаш учун қўлланилади. 

---

III. НАЗАРИЙ МАТЕРИАЛЛАР 
22 
1.4 – расм. Атом – куч микроскоп тузилиши. 
Зонднинг четлашуви силжишларни ўлчовчи асбоб, масалан оптик 
сенсор ѐрдамида қайд қилинади.