‘zbek ist0n respublikasi oliy va ‘rta maxsus ta’lim vazirligi X. K. Aripov, A. M. Abdullayev

7.2. Yarimo‘tkazgich IM Slar yaratishda texnologik jarayon va
operatsiyalar
Tayyorlov operatsiyalari. Y arim o'tkazgich IM Slar tayyorlash uchun
asosiy m aterial bo'lgan — krem niy m onokristall quym alari olishdan
boshlanadi. M onokristall quym alar hosil qilishning bir qancha usullari
mavjud.
Choxralskiy usulida tarkibiga d o n o r yoki ak sep to r k iritm a lar
qo'shilgan o ‘ta toza krem niy eritm asi yuziga krem niy m onokristali
tushiriladi. E ritm a eritgan m onokristall o ‘z o ‘qi atrofida asta-sekin
aylantirilib ko‘tariladi. M onokristall ko‘tarilishi bilan eritm a kristalanadi
va krem niy m onokristali hosil bo'ladi. Hosil b o ‘lgan krem niy quym asi
n — yoki p — turli elektr o ‘tkazuvchanlikka ega b o 'lad i. Q uym a
uzunligi 150 sm, diam etri esa 150 m m va undan katta bo‘lishi m um kin.
Zonali eritish usulida m onokristall ifloslantiruvchi kiritm alardan
q o ‘shim cha tozalanadi. B unda kristalning to r zonasi eritilib, eritilgan
zona kristalning bir uchidan ikkinchi uchiga asta siljitib boriladi.
K ir itm a la r n in g e rig a n fa z a d a e r u v c h a n lig i q a ttiq h o la td a g i
eruvchanligiga qaraganda katta b o ‘lsa, o ‘sha kiritm alar suyuq fazaga
o ‘tib kristalning ikkinchi uchiga siljib boradi, va o ‘sha yerda to ‘planadi.
K iritm alar to ‘plangan soha tozalash jarayonlari tugagandan so ‘ng kesib
tashlanadi.
Epitaksiya. Epitaksiya jarayoni asos sirtida uning kristali tuzilishini
takrorlovchi yupqa m onokristall ishchi qatlam lar hosil qilish uchun
ishlatiladi. Asos bunda m ustahkam likni ta ’m inlash va kristalanayotganwww.ziyouz.com
kutubxonasi
qatlam takrorlashi zarur bo'lgan kristall panjara sifatida xizm at qiladi.
Keyingi texnologik jarayonlarda epitaksial qatlam da IM Sning aktiv
va passiv elem entlari hosil qilinadi.
G az fazali va suyuq fazali epitaksiya usullari keng tarqalgan bo'lib,
ular m onokristall asos sirtida n— yoki p—turli o ‘tkazuvchanlikka ega
b o ‘lgan epitaksial qatlam lar hosil qilish im konini beradi.