‘zbek ist0n respublikasi oliy va ‘rta maxsus ta’lim vazirligi X. K. Aripov, A. M. Abdullayev

Anizotrop yem irish b ilan , m asalan, m ik ro sx em alar tay y o rlash d a
(elem entlarni bir-biridan dielektrik bilan izolatsiyalashda) dielektrik
qatlam o ‘stiriluvchi “chuqurcha”lar hosil qilinadi.
Fotolitografiya. Y arim o'tkazgich plastinadagi metall yoki dielektrik
pardalar sirtida m a’lum shakldagi lokal sohalarni hosil qilish jarayoni
fotolitografiya deb ataladi. U shbu sohalar kim yoviy y em irish d an
him oyalangan b o ‘lishi shart. Fotolitografiya jarayonida ultrabinafsha
nur ta ’sirida o ‘z xususiyatlarini o ‘zgartiruvchi, fotorezist deb ataluvchi,
maxsus m oddalar ishlatiladi.
Fotorezist oksidlangan krem niy plastinasi sirtiga surtiladi va kvars
shisha niqob orqali yoritiladi. N iqoblar shafifof va shaffof em as sohalarga
ega b o ‘lgani u ch u n fo to re zistn in g m a ’lum so h alarig a y o ru g ‘lik
(ultrabinafsha nur) ta ’sir etib, uning xususiyati o ‘zgartiriladi. Bunday
niqoblar fotoshablonlar deb ataladi. Fotorezist turiga bog‘liq holda
uning eruvchanligi ortishi (pozitiv fotorezist) yoki kam ayishi (negativ
fotorezist) m um kin. Pozitiv fotorezist qatlam yorug‘lik nuri ta ’sirida
nobarqaror holatga o ‘tadi va erituvchi ta ’sirida eriydigan, negativ
fotorezist esa — aksincha, yorug'lik ta ’sirida erim aydigan b o ‘lib qoladi,
uning yorug‘lik ta ’siridan him oyalangan sohalari eriydi. S hunday qilib,
fotorezist qatlam dan fotoshablondagi shaklni takrorlovchi him oyalovchi
niqob hosil qilinadi. Fotorezist qatlam da hosil qilingan “d arch a” lar
orqali oksidlangan yarim o'tkazgichning him oyalanm agan sohalariga
kim yoviy ishlov beriladi (yem iriladi).
IM S tayyorlashda fotolitografiya jarayonidan bir necha m arta (5-^7
m arta) foydalaniladi (negiz qatlam lar, em itterlar, om ik kontaktlar
hosil qilishda va h.k.). Bunda har gal o ‘ziga xos “rasm ’Mi fotoshablonlar
ishlatiladi.
O ltita EREga ega IM S hosil qilishda fotolitografiya jarayonining
ketm a-ketligi 7.1-rasm da ko‘rsatilgan.