Yarim o’tkazgichli Si(P) – kristallarni tezlashtirilgan protonlar bilan nurlantirish natijasida ularning elektrofizikaviy xossalarini o’rganish”

Mavzuning dolzarbligi. Kremniy keng tarqalgan tabiiy yarimo`tkazgichli material bo`lganligi uchun uning mikroelektronika va nanotexnologiyada qo’llanilishi keng tarqalgan. Elektron kompanentalarni turli muhitlarda stabbil ishlashini ta’minlash maqsadida kremniy monokristalliga tashqi har xil ta’sirlarning uning elektrofizikaviy parametrlariga ta’sirini o’rganish dolzarb hisoblanadi. Bunday tashqi ta’sirlarga misol qilib, radiatsion nurlanishini olishimiz mumkin. Bunga sabab esa, hozirgi kunda ishlab turgan atom elektr stansiyalarida va hottoki kosmik kemalarda elektron kompanentalarni radiatsion nurlanish ta’sirida bo’lishidir.
Tadqiqot ob’yekti: Kremniy monokristalidan tayyorlangan namunalar (KEF- 5).
Tadqiqotning predmeti: Monokristall kremniyni protonlar bilan nurlantirish natijasida hosil bo’lgan elektrofizikaviy parametrlar va namuna yuzasidagi nuqsonlar.
Tadqiqotning maqsadi. Tashqi radiatsion nurlanishdan biri bo’lgan yengil protonlar (yengil ionlar) yordamida kremniy monokristallining yuza qismidagi tuzilishinio’zgartirish natijasida mikroelektronikada qo’llanayotgan elektro komponentalarning radiatsion barqarorligini oshirish maqsadida kremniy monokristallining asosiy elektrofizikaviy parametrlarini o’rganish.
Maqsadga erishish uchun quyidagi tadqiqot vazifalari qo‘yilgan:
1.Yarimo’tkazgichdan ya’ni kremniydan namuna tayyorlash.Bunda namunalarni o’lchamlari, qarshiligi, tipi, qanday aralashma mavjudligi va boshqa kattaliklari aniqlanadi.
2. Tayyorlangan namunalar “EG-2 SOKOL” elektrostatik tezlatgich yordamida protonlar bilan nurlantiriladi.Nurlantirishda hosil bo’lgan bir necha kattaliklar olinadi va qolgan boshqa kattaliklar hisoblab topiladi.
3.Nurlantirishda hosil bo’lgan nuqsonlarni (deeffekt) o’lchamlari,shakllari va boshqalari.
Tadqiqot usuli: “EG-2 SOKOL” elektrostatik tezlatgichi yordamida namunalarni nurlantirish va turli qurilmalar yordamida elektrofizikaviy kattaliklarni o’rganish. SEM yordamida namunalar yuzasida o’zgarishlar va namunalarning kimyoviy tarkibi o’lchash usullari.