Yarim o’tkazgichli Si(P) – kristallarni tezlashtirilgan protonlar bilan nurlantirish natijasida ularning elektrofizikaviy xossalarini o’rganish”

O’stirilgan kremniy monokristallarni plastinka va kristallarga kesish usullari.Yarimo'tkazgichli asboblarni tayyorlash texnologiyasida yarimo'tkazgich o’stirilganlarni plastinkalarga kesishning bir qancha usullaridan foydalaniladi:
1) Qirrasi tashqi yoki ichki olmosli diskda kesish;
2) Abraziv suspenziya yordamida po‘lat tasma yoki ingichka simda kesish.
Plastinkalarni kristallarga kesishda esa 1) ultratovush; 2) ingichka sim, 3) olmosda kesgich va boshqa usullardan foydalaniladi.
Turli usullarni solishtirish uchun bir qancha mezonlar mavjud bo'lib, ularga: unumdorligi (kesish tezligi), mexanik buzilgan qatlam chuqurlig, foydali materialning chiqishi, yarimo'tkazgich material chiqindisidan qayta foydalanish, turli ko'rinishdagi kristallami tayyorlash kabilar kiradi. Yuqoridagi usullami ketma-ket ko‘rib chiqamiz:
1. Olmosli diskda kesish maxsus qurilmalar yordamida amalga oshiriladi. Bu usul keng tarqalgan. Olmosli disk yupqa po‘lat disk bo‘lib, tashqi yoki ichki cheti o'lchamlari 20 - 40 mkm li donador olmos bilan singdirilgan. Tashqi qirrali qirquvchi diskni diametri 50 mm, qalinligi 0,1-0,2 mm. Bunday disklar yordamida diametr 10 mm li quymalarni kesish mumkin (12, a-rasm).

a	b
12- rasm. Tashqi(a) va ichki(b) olmosli disk yordamida quymani kesish sxemasi.
olmos qirrali disk 4- namunani mahkamlovchi po’lat disk plastinka mahkamlovchi tirqish 5- o’stirilgan namuna

Ichki keskich olmos qirrali diskning ichki diametri 50-60 mm va tashqi diametri 100-150 mm bo'lib, qalinligi 0,1-0,15 mm. Bu disklar maxsus qurilmaga mahkamlanadi va unda tepkili tebranishlar bo'lmaydi. Kesish katta aylanishda (8000-12000 ayl/min ) olib boriladi. Diskning bunday katta burchak ostida aylanishida kesishning chiziqiy tezligi 20 m/s ga yetishi mumkin. Kesilayotgan joyni suv bilan sovitiladi. Plastinkalar qalinligi bo‘yicha bir- biridan farq ± 0,03 mm dan oshmasligi kerak. Bu usulda kesilish kengligi disk qalinligidan 2, 5-3 marta katta, shuning uchun material chiqindisi 40-45% ni tashkil qiladi.Ichki keskich olmos qirrali diskda kesishning bir qancha afzalliklari bor. U unumdor va chiqindini kam chiqaradi.Usulning kamchiliklari: mexanik buzilgan qatlamning qalinligi, qurilmaning murakkabligi va uni sozlash qiyinligi va boshqalar.