С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

У Ё — узи ёзгич.
Бир зондли усулни яримутказгич монокристалларининг 
кичик со\аларидаги нуксонларини урганишга куллашда 
зонд V — тезлик билан сирт буйлаб х,аракатланади. Зонд 
билан контактлардан бири орасида пайдо булган кучла­
нишни дифференциалловчи RC занжирга берилади. Шу 
сабабли конденсатордан утаётган ток унга тушаётган куч- 
ланишнинг ^осиласига пропорционал:
Дифференциалловчи занжирнинг доимий вакги, т = R C  
етарли кичик булганда R — каршиликка тушган кучла­
ниш
dU 
dU 
dU 
J
U K-icR =R C  — -=CR — -=R-C‘ V—— -- R С ■
 V — p(x) (1.17)
dt 
dx 
dx 
S
ифода билан аникланади. Узиёзар асбоб билан кайд 
Килинган R каршиликдаги кучланиш солиштирма кар­
шиликка пропорционал булиб, г нинг намуна буйича так- 
симотини курсатади. Усулнинг нобиржинслиликни кайд 
килиш кобилияти кузгалувчи зонд диаметрига, уни кузка- 
лиш теалигига, V га, асбобларнинг сезгирлигига х,амда 
RC — занжир параметрига боглик- Бир зондли усулда 
уртача солиштирма каршилик зонд билан намуна кон-
18

---

тактлашиш юзасига мос келади, бундан куринадики, бир 
жинсли булмаганликнинг энг кичик кулами зонднинг 
контактлашиш диаметри 
d
 
дан ошмайди. Улчаш чизма- 
сининг инерционлиги икки доимий вак,тнинг энг катта- 
си билан аникданади: занжирнинг доимий вакти RC= г 
ёки к,айд килувчи асбобларнинг доимий вакги та дир. Бу 
катталиклар зонднинг сурилиш тезлигини чегаралайди. 
Хар бир доимий вакт RC- г ёки га d — масофанинг зонд 
утиш вакгидан кичик булиши керак:
7
> Я С
ва 
- > г а 
(1.18)
Бундай холда, яримутказгичнинг контакт каршилиги ки­
чик ва зонд харакатланганда узгармайди деб фараз килин- 
ган. Хакикатда, агар контакт каршилиги факат контакт­
нинг таркалган каршилиги билан аникланса (1.8-§ га 
каранг), у холда радиуси ~ 10 мкм булган контакт учун 
солиштирма каршилиги 100 Ом. см булган намунада кон- 
такг каршилиги 20 кОм га етади. Зонд намуна буйлаб 
харакатланганда кучиш каршилиги, зонд билан яримут­
казгичнинг хар бир нуктада контактлашиш юзасининг 
узгариши туфайли куч л и узгариши мумкин. Бунда чизма 
бир вакгда солиштирма каршиликнинг намуна буйича 
таксимланишини ва контакт каршилигининг тебраниши- 
ни кайд килади, натижалар эса кайтарилмайди. Контакт 
Каршилигини тугри улчашнинг зарурий шарти
R » /? +AR
кир 
к
булади. Rmp — кайд килувчи курилманинг тула кириш 
каршилиги, AR — контакт каршилигининг узгариши. 
Шуни таъкидлаш керакки, бир зондли усул билан узгар­
мас ва узгарувчан токларда солиштирма каршиликни 
улчаш мумкин. Узгарувчан ток билан улчашда зонддан 
кучланишни олдин ажратувчи конденсатор оркали ка- 
тодли такрорлаш курилмасига берилади (бунда кагга кар- 
шиликли кириш сигналини кичик каршиликли чикиш 
сигналига амплитудасини узгартирмай айлантириб бера­
ди), сунг сигнал тугриланади ва дифференциалловчи зан- 
жирга берилади. Бу усул билан намуналарда солиштирма
19

---

• :■
шик ;so Ом. см гача булган ораликда улчанганда, 
хнтолик *>% дан ошмайди. Солиштирма каршилиги катта 
Пул ran мамуналарпи улчашда контакт каршилиги ошиши 
билан боглик, хатолик пайдо булади.
Бу усул билан солиштирма каршиликни улчашнинг 
куйи чегараси унинг к,изиши билан чекланган ва 0,005 
Ом. см тартибидадир. Кузкалувчан зонд сифатида к,атгик, 
материаллар (масалан, карбид-кремний) симлари камда 
диаметри 2 мм ли думалайдиган пулат шардан ясалган 
зонд манипулятори ишлатилади.