Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
479 
8x3x2 мм
3
. Процесс низкотемпературной диффузии проводился следующим 
образом. Диффузор с образцом кремния в вакуумной ампуле помещался в 
диффузионную печь при комнатной температуре (
T
= 300 K). Затем печь 
нагревали до минимальной температуры 5 ° C / мин при Tmin = 630° C и 
выдерживали при этой температуре в течение 30 минут. Затем температуру 
печи поднимали до необходимого максимального значения Tmax = 1010 ° C, 
и образец выдерживали при этой температуре в течение 10 минут. Значения 
Tmax и Tmin (максимальное и минимальное), а также время выдержки при 
заданной температуре зависят от температуры диффузора. B качестве 
контрольного материала был выбран монокристаллический кремний маркой 
КДБ-3. Диффузия марганца в контролного материла проводилась идентечно 
в указанных условиях.
На рис 1 показана спектральная зависимость фотопроводимости 
кремния с атомами селена, измеренная в области примесной 
фотопроводимости при величине электрического поля в образце 6.5 V/cm и 
Т=100К. Отдельным экспериментом было показано, что собственная 
фотопроводимость образцов кремния с атомами селена сохраняется такой же 
как у контрольных (чисто кремниевых) 
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0
1,2
1,4
1E-10
1E-09
1E-08
1E-07
1E-06
1E-05
1E-04
I (
A)
hν (ev)
a)
b)
Рис.1 Спектральная зависимость фотопроводимости 
a) SiMn, ρ=2.5*10
2
om*sm b) Si, ρ=4.3*10
2
om*sm 
Таким образом установлено,что при диффузии атомов марганца в 
предварительно легировнном кремнии происходит взаимосвязь между 
атомами Ge и Mn. Подтверждением этого можно приводит эффект 
исчезновения гашение фотопроводимости в результате совместной 
диффузии. В настоящем времени ведется исследование увеличения 
растворимости Mn в решетке кремния для обеспечения большой вероятности 
взаимодействия Ge и Mn. 

---