Влияние режимов ионно-плазменного напыления на структуру и свойства износостойких покрытий

2.1.2.3 Мишени танталовые 
Качественные мишени из тантала среднего размера и толщины (рис. 2.3) 
должны выдерживать многократные воздействия электронных пучков при силе 
тока 5 кА, диаметр фокусного пятна должен быть в пределах 10 мм.
Рисунок 2.3 - Чисто танталовые мишени 
Изготавливаются танталовые мишени из металла высокой чистоты, гото-
вые изделия имеют высокие показатели прочности, надежности и лишены ви-
димых поверхностных дефектов. Металлический тантал имеет чистоту от 
99,95% и до 99,999%, состав чистой мишени представлен в таблице 2.6. 

---

62 
Таблица 2.6 - Химический состав мишени тантала
Мишень из (Ta) тантала, чистота материала - 99,9%-99,95% 
Элемент 
масс.% 
Элемент 
масс.% 
Элемент 
масс.% 
Nb 
<0.02 
Mg 
0.00005 
Ni 
0.0005 
Fe 
0.0005 
Al 
<0.0003 
Cu 
0.00001 
Ti 
0.0005 
Ca 
0.001 
Zr 
0.0007 
Si 
0.0002 
Cr 
0.0005 
Sn 
0.0005 
W 
0.005 
Co 
0.0001 
Na 
0.00001 
Mo 
0.003 
Mn 
0.00003 
Танталовые мишени обеспечивают последовательные и воспроизводимые 
показатели процесса с высокой однородностью толщины. Благодаря устране-
нию текстурной полосы во время изготовления образуется однородная микро-
структура, которая обеспечивает улучшенную стабильность на начальном этапе 
и последовательность на протяжении всего срока службы характеристик рас-
пыления. Основная сфера применения – нанесение тончайших покрытий из ме-
таллов на детали аппаратов, движущихся механизмов. Такие покрытия, созда-
ваемые мишенями из тантала, увеличивают срок службы обрабатываемых по-
верхностей, повышают показатели прочности. Тантал устойчив к коррозии, со-
храняет прочность при высоких температурах, очень эффективен как защитный 
материал.