Влияние режимов ионно-плазменного напыления на структуру и свойства износостойких покрытий

 
2.1.2 Характеристика мишеней и модификация поверхности резины 
Для проведения исследовательской работы по влиянию поверхностного 
нано-микроструктурирования на физико-механические свойства резин и экс-
плуатационные свойства РТИ использовали тугоплавкие металлы: - мишени 
молибдена, тантала и вольфрама. 
2.1.2.1 Мишени молибденовые 
Молибденовые мишени характеризуются хорошей толщиной и блестящей 
поверхностью, могут быть различной формы: круглые (рис. 2.1), формы с от-
верстиями, прямоугольные и так далее. Чисто молибденовые мишени можно 
разделить на два типа: на плоские молибденовые мишени и поворотные молиб-
деновые мишени.
Рис. 2.1 - Чисто молибденовые мишени 

---

60 
Молибденовые мишени формируются путем спекания порошкового мо-
либдена. Молибденовые мишени в основном используются в промышленности 
плазменного напыления, ионном распылении. Молибден распыляемой мишени 
является мишень с высокой чистотой и сбалансированным размер кристалла и 
распределения. 
К чистоте молибдена предъявляется строгое требование, она должна быть 
выше 99,95%, состав мишени молибдена представлен в таблице 2.4. Молибден 
выдерживает воздействие высочайших температур и агрессивных химикатов. 
Таблица 2.4 - Химический состав мишени молибдена
Мишень из (Mo) молибдена, чистота материала - 99,9%-99,95% 
Элемент 
масс.% 
Элемент 
масс.% 
Элемент 
масс.% 
Fe 
0.005 
Al 
0.001 
C 
0.004 
Ni 
0.003 
Si 
0,003 
Ca 
0.0007 
O 
0.006 
N 
0.002 
K 
0.005 
W 
0.013 
Mg 
0.0001 
Na 
0.001 
2.1.2.2 Мишени вольфрамовые 
Вольфрамовые мишени представляют собой плоские прямоугольники или 
круги серебристого цвета и яркости. Фиксированные анодные мишени диамет-
ром от 20 до 30 мм, толщиной: ≥2 мм (рис. 2.2).
Рисунок 2.2 - Чисто вольфрамовые мишени 
Вольфрамовые мишени изготавливают из высокопрочного материала, 
вольфрама, применяют в процессе нанесения покрытия по технологии магне-
тронного напыления, которая является новым видом метода нанесения покры-
тия путѐм осаждением паров. Вольфрам сверхвысокой чистоты (от 99 %) (таб-

---

61 
лица 2.5), который является отличным материалом с высокими показателями 
прочности и тепловой проводимости, с высоким коэффициентом использования 
и эффективности.
Таблица 2.5 - Химический состав мишени вольфрама
Мишень из (W) вольфрама, чистота материала - 99,9%-99,95% 
Элемент 
масс.% 
Элемент 
масс.% 
Элемент 
масс.% 
Fe 
<0.01 
Al 
<0.005 
Ni 
0.005 
Mg 
0.005 
Si 
0,005 
Co 
0.0005 
Cu 
0.005 
Ca 
<0.005 
Mo 
<0.004 
K 
0.001 
Cr 
0.005 
Ti 
0.0002 
Этот материал обладает самой высокой температурой плавления среди 
всех металлов, поэтому вольфрамовые слои являются особо устойчивыми. 
Вольфрам выдерживает воздействие высочайших температур и агрессивных 
химикатов.