Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълимвазирлиги мирзо улуғбек номидаги

АТРОФ МУҲИТ МУҲОФАЗАСИ УЧУН СЕНСОРЛАР 
НОРМУРАДОВ З.Н., МАМИРЗАЕВ М., АБИЛКОСИМОВА Г 
Самарқанд давлат университети 
Ҳаво атмосфераси таркибидаги анорганик газларнинг таҳлили экологик 
муаммоларни ҳал этишда асосий муаммолардан бири ҳисобланади. 
Ҳозирги пайтда газли муҳитдаги турли хилдаги ноорганик газлар 
миқдорини аниқлайдиган кимѐвий, электрокимѐвий, термокимѐвий, оптик, 
ионизацион, термомагнит, хроматографик ва бошқа сенсорлар мавжуд. Ҳар 
бир сенсорлар ўзларининг афзалликлари ва камчиликларидан ҳоли эмас. 
Атроф-муҳит объектларидаги мавжуд бўлган газларни аниқлашда 
турли хил усулларга асосланган сенсорлардан фойдаланиш муҳим аҳамият 
касб этмоқда.
Металлоксидли яримўтказгичли сенсорлар бугунги кунда газанализни 
ўтказиш учун кенг миқѐсда қўлланилаѐтган сенсорлар ҳисобланишади. 
Сенсорларнинг асосий таркибий қисмларидан бири, бу сезгир 
элементдир. Сезгир элементларнинг материали ҳар хил бўлиши мумкин. 
Кейинги йилларда бундай материаллар сифатида кўпгина металларнинг 
юпқа оксид қатламлари қўлланилмоқда. 
Биз ўз тадқиқотларимизда ана шундай хусусиятга эга бўлган металл 
оксидларининг юпқа қатламларини ҳосил қилишни ўрганиш, сўнгра улар 
ѐрдамида юпқа бинар қатламларниҳосил қилиш ва ҳосил қилинган юпқа 
бинар қатламлардан фойдаланиб, турли ноорганик газлар миқдорини ўлчаш 
имконини берадиган сенсорлар яратиш устида ишлар олиб бордик. 

---

50 
Яримўтказгичли сенсорларнинг ишлаш принципи, анализ қилинувчи 
газнинг миқдорига кўра, сенсор таркибига кирувчи сезгир элементнинг 
электрофизик хусусиятларининг ўзгаришини ўлчашга асосланган. 
Сенсорнинг 
аналитик 
сигнали 
сифатида 
сезгир 
элемент 
қаршилигининг катталигини ўлчаш қабул қилинган. 
Сенсор таркибий қисмини инерт материал уст қисмига қиздирувчи 
мослама, ҳамда электродлар ташкил қилади. Электродларнинг устки қисми 
юпқа оксид қатлам билан қопланган. Юпқа оксид қатлам юзасида 
газларнинг адсорбция ва десорбция ҳодисалари юз бериши натижасида 
сезгир элементнинг қаршилиги анализ қилинаѐтган газнинг микдорига мос 
равишда ўзгаради 
Юпқа металлоксид қатламлар вакуум остида термик сочилиш усулида 
ҳосил қилинди. 
Атроф муҳит объектларида мавжуд бўлган О
2
, H
2
S, CO, SO
2
газларини 
аниқлаш учун сезгир элементлар сифатида SnO
2
, WO
3
, ZnO оксидлари 
танлаб олинди. Турли хилдаги газ компонентлари учун ҳар хил қийматдаги 
температуралар ҳосил қилинади. SnO
2
учун сезгир элементни 300°С гача 
қиздириш зарур бўлса, H
2
S, CO, SO
2
газларини аниқлашда мос равишда
350, 400, 450 °С лар мос келади. 
Яратилган сенсорларнинг атроф муҳит объектларида қўлланилиши 
натижасида, экологик муҳитнинг барқарорлигини сақлаш муаммоларини 
ҳал этиш учун хизмат қилади.
Адабиѐтлар 
1.
Абдурахманов Э., Абдурахманов Б.М., Нормурадов З.Н., Геворгян А.М. 
Сенсор для контроля микроконцентрации сероводорода// Экологические системы 
и приборы №5 2009.-С. 10-13 
2.Абдурахманов Э. , Муминова Н.И., Нормурадов З., Геворгян А.М. 
Селективный полупроводниковой сенсор фтористого водорода// Журнал 
химическая промышленность. Т.87, №7, 2010. с. 369-371.