O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta ta’lim vazirligi toshkent irrigatsiya va qishloq xo’jaligini mexanizatsiyalash muhandislari instituti

3.8. Ionli implantatsiya jarayonida amorf strukturalarni shakllanishi 
 
Amorf  metal  strukturalar  (metal  shishalar)  bir  qator  ajoyib  fizik-
mexanikaviy  xossalarga  ega,  shu  jumladan,  pasaygan  elektro‟tkazuvchanlik  va 
antifriktsion  xossalari,  oshirilgan  qattiqlik,  diffusion  faollik  va  yeyilishga 
chidamlilik  hamda  o‟ziga  xos  magnitli  xossalar.  Shuning  uchun  bu  materiallar 
nafaqat  electron  asbobsozlikda,    balki  mashinasozlikda  ham  keng  qo‟llaniladi. 
Ionlar  katta  miqdorda  Ф  >  10
17
  ion/sm
2
  singdirilganda  amorf  strukturalarni  olish 
mumkin.  Metallarga  metalloidlarning
13
  ionlari  singdirilganda  amorflanish 
jarayonlari  eng  samarali  kechadi.  Amorf  qotishmalar  suyuq  va  qattiq  fazalarda  
juda  yomon  eriydigan  elementlar  tizimida  ham  olinadi.  Misol  sifatida  xona 
temperaturasida 
amorf 
strukturalarni 
hosil 
qiladigan 
qator 
elementlar 
kombinatsiyalarini keltirish mimkin: Ta
+
  Fe da, Dy
+ 
  Ni da, Ta
+ 
 Cu da, W
+
  Cu 
da, Au
+
  Pt da, Sn
+
   Cr da. 
                                                 
13
 Metalloidlar – ham metallarning ba‟zi xossalarga, ham nometallarning ba‟zi xossalariga „ga. Masalan, Si,Ge,As. 

---

85 
 
Amorflanish  jarayoni  matritsaning  kristall  panjarasida  yaqin  turgan 
tugunlarida  kuchli    buzilishlardan  iborat. Ionli  legirlashda  amorflanishning  asosiy 
mexanizmi  yuqori  temperaturada  tez  sovutish  modeliga  asoslangan,  bunda  singib 
borayotgan  ion  zich    to‟qnashishlarga  olib  keladi.    Bu  joyda  atomlarning  yuqori 
kinetik  harakati  va  siljishi  vujudga  keladi,  temperatura  erish  temperaturasidan 
oshib ketadi va struktura kristall tuzilishni yo‟qotadi. Issiqlikni tez tarqashi amorf 
holatni saqlab qolishga olib keladi. Bunday amorflanish jarayoni implantatsiy og‟ir 
ionlar bilan yuqori energiyada olib borilsa kuzatiladi.  
Bundan  tashqari  matritsada  kimyoviy  tarkibni  mahalliy  o‟zgarishi  sodir 
bo‟lgan  joyda  amorf  strukturalar  paydo  bo‟lishi  mumkin.  Bu  jarayonlar  har  xil 
metallarga nisbatan yengil ionlar, masalan bor va argon ionlari, singib borsa sodir 
bo‟lishi mumkin. Singib borayotgan ionlarning kontsentratsiyasi ma‟lum qiymatga 
yetganda  amorflanish  vujudga  keladi.    Bu  jarayonda  ichki  zo‟riqishlar  muhim 
vazifani  o‟taydi,  qo‟shimcha  elementning  kontsentratsiyasi  oshgan  sari  bu 
zo‟riqishlar ham oshib boradi.  Qo‟shimcha elementning kontsentratsiyasi ma‟lum 
kritik  qiymatga  yetgandan  keyin  amorf  faza  rivojlanib  boshlaydi,  bunda 
saqlanayotgan  kristall  tuzilmada  ichki  zo‟riqishlar  kamayib  ketadi  va  kristall 
panjaraning  parametri  ham  kamayadi.  Butun  amorf  o‟zgarish  davomida 
saqlanayotgan  kristall  tuzilmada  ichki  zo‟riqishlar  va  panjaraning  parametri 
o‟zgarmas bo‟lib turadi.  
Metall va metalloidlar kristall birikmalarida amorflanish kuzatilishi mumkin. 
Bu  jarayon  ancha  kam  nurlanish  miqdorini  va  energiyani  talab  qiladi.  Kristall 
birikmaning  amorflanish  kinetikasi  paydo  bo‟alayotgan  ionlar  tabiatiga  va 
temperaturaga  uncha  bog‟liq  emas,  bunda  temperatura  kamayishi  bilan  amorf 
fazaning o‟sish tezligi oshadi.