Microsoft Word Макет №19(7) вычит

---

Д
ОКЛАДЫ
 
БГУИР
 
 
D
OKLADY 
BGUIR 
Т
. 19,
 
№
 
7
 
(2021)
 

V.
 
19,
 
N
O
. 7
 
(2021) 
99 
http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-7-99-105 
Оригинальная
 
статья
/ Original paper 
УДК 621.315.593:539.216.2 
ТЕМПЕРАТУРНЫЙ КОЭФФИЦИЕНТ СОПРОТИВЛЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ 
РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ 
ПЛЕНОК КРЕМНИЯ 
А.С. СТРОГОВА
Белорусский
 
государственный
 
университет
 
информатики
 
и
 
радиоэлектроники
 
(
г
. 
Минск
, 
Республика
 
Беларусь
) 
Поступила
 
в
 
редакцию
 23 
сентября
2021 
© Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 2021
Аннотация.
Исследовались закономерности изменения концентрации электрически активной 
легирующей примеси в пленке наноструктурированного кремния, путем изменения удельного 
электрического сопротивления в зависимости от условий легирования. Определены зависимости 
изменения полученных структур, легированных редкоземельными элементами (РЗЭ), такими как 
La, Eu, Sm, Dy, Gd (лантаноиды), на наноструктурированных пленках кремния. Установлены 
закономерности изменения полученных пленок и изменение температурного коэффициента 
сопротивления (ТКС) в зависимости от условий формирования. Показаны закономерности изменения 
ТКС в зависимости от выбранных условий легирования или нелегирования различными примесями 
наноструктурированных пленок кремния. Показано, что основными условиями, при которых показано 
воздействие и изменение температурного коэффициента сопротивления резисторов на тонких пленках с 
использованием РЗЭ, таких как кислород, бор и фосфор, в объеме пленки, считается температурное 
влияние уже после осаждения.
Ключевые слова:
 
редкоземельные элементы, наноструктурированные пленки, имплантация, 
деформация, температурный коэффициент сопротивления.