Kirish. Fannining predmet va vazifalari

5.2. Atom - kuchlanishli mikroskop (skanerlovchi kuchlanishli mikroskop) ASM
Uning STM dan farki shundaki zondlari (kantiliverlar) o‘rganilayotgan yuza bilan elektr yo‘li bilan emas, balki kuchlanish yo‘li bilan o‘zaro tasirga kirishadi.
Ikki atomlarning kuchi masofaga bog‘lik. Itarilish kuchi ostida ortadi. Ikki atomni bir fazada joylashtirishning iloji yo‘k.
Kantiliver ignasi ob’ekt yuzasiga tegadi va atomlar o‘rtasidagi o‘zaro tasir masofasiga etgach, orqaga itarilib qaytadi.
Kantiliver zondining tebranishi turli usullarda elektr signallariga aylanadi (eng oddiy usul – optik usul).
Bu signal o‘zida kantiliver o‘lchovning malum bir kadamiga tushgan balandlik haqidagi informatsiyani saqlaydi. XV yuza bo‘yicha xarakatlanish haqidagi malumot ushbu yuza bo‘ylab mexanizmlarning xarakatlanishi orqali qayd etiladi.
Obektga bo‘lgan talab – u sillik bo‘lishi kerak (baland – past bo‘lmasligi kerak) va qattiq bo‘lishi kerak (gazsimon va suyuq obektlarni o‘rganishdan mano yo‘q).
TEM ga solishtirganda ASM bir qator afzalliklarga ham ega:
1) ASM obekt yuzasining uch o‘lchamdagi tasvirini olish imkonini beradi, TEM da esa 2D tasvir olish mumkin xolos;
2) ASM yordamida tekshiruv olib borilganda metall qatlam surilishi shart emas;
3) TEM normal xolatda ishlashi uchun vakuum zarur. ASM uchun esa shartmas;
4) ASM REM ga nisbatan yaxshiroq tasvir uzata olish qobiliyatiga ega.

ASM ning kamchiliklari:

TEM ga nisbatan skanerlash maydoninig kichikligi;
Skanerlash yuzasidagi vertikal o‘lcham baland-pastliklariga nisbatan talabning kuchliligi. TEM da egov ko‘rinib turadi. ASM da yo‘q.
Zondning geometriyasiga bo‘lgan talabning qattiqligi. Unga oson zarar etkazib qo‘yish mumkin.
Tasvirdagi nosozliklarni deyarli yo‘qotib bo‘lmaydi. Bu esa o‘rganilayotgan obekt yuzasidagi atomlarning issiqlik xarakatiga bog‘liq. Bu hatoliklarni skanerlash tezligi malekulalarning issiqlik tezligidan ortsagina yo‘qotish mumkin. YAni har daqiqa tasvir o‘zgarib turadi.
Bu muammolarning barchasi o‘lchov natijalarini dasturiy ishlov berish hisobiga kompensatsiyalanishi mumkin. Biroq shuni unutmaslik lozimki, biz kompyuter ekranida ko‘rib turganimiz - real yuza emas, balki modeldir.
Modelning ishonchliligi darajasi – gumon.
Ayni paytda skanerlovchi zondli mexanizmlar (STM va ASM) fanning barcha sohalarida keng miqyosda qo‘llanib kelinmoqda (fizika, kimyo, biologiya, materialshunoslikda).