Kirish. Fannining predmet va vazifalari

4.2. Fazali epitaksiya


Suyuq fazali epitaksiya.
Afzalliklari va kamchiliklari.
Suyuq fazali epitaksiya asosan GaAS, GdP2 kabi qatlamli yarmo‘tkazgichli birikmalar olish uchun qo‘llaniladi; shuningdek, monokristall kremniy olishning asosiy usulihisoblanadi. Jarayon azot va vodorod atmosferasida (qorishma yoki podlojka sirtidagi oksid plyonkalarini tiklash uchun) yoki vakuumda (dastlab oksid plyonkalarini tiklab olgach) o‘tkaziladi. Qorishma podlojka sirtiga surtiladi, bunda uni qisman eritadi va uning kamchiliklari , iflosliklari yo‘qotiladi.