Kirish. Fannining predmet va vazifalari

4.1. 2-D Nanoob’ektlar (yupqa plenkalar).
Texnikada qoplama sifatida foydalaniladi. YUpqa plenkali qoplamalarning yaratilishi dastlabki materialning xossalarini o‘zgartirish, bunda hajmiga tegmaslik va geometrik o‘lchamlarni oshirmaslik imkonini beradi. Qalinligi 1 mkmdan ortiq emas. Qoplamani ishlatishning eng ko‘p tarqalgan maqsadlari:
1)Turli detallar materiallarining emirilishga chidfenamliligini, issiqlikka va korroziyaga barqarorligini oshirish;
2) Mikro, nanoelektronika, optoelektronika, sensorika va boshqalarning elementlari uchun planar, bir qavatli, ko‘p qavatli geterotuzilmalar yaratish;
3) YUzaning optik ko‘rsatkichlarini o‘zgartirish (xameleon ko‘zoynaklar);
4) Axborotni yozib olish va saqlash elementlarida magnit muhitlar yaratish uchun;
5) Axborotni yozib olish va saqlash optik vositalarini yaratish CD, DVD disklar;
6) YUtkichlar, gaz aralashmalarining separatorlarini, katalizatorlar, kimyoviy modifikatsiyalangan membranalar va shu kabilarni yaratish;
YUzaning xizmat ko‘rsatkichlarini yaxshilashga (ya’ni ularga plenkalar yaratishga) bir-biridan mutlaqo farqlanuvchi ikkita yondoshuv mavjud:

1. 
   YUzaga yaqin qatlamlarni har xil (kimyoviy, issiqlik, mexanik, radiatsion yoki ularning kombinatsiyalari) ishlov berish yordamida modifikatsiyalash;
   
2. 
   Boshqa atomlarning qo‘shimcha qatlamlarini berish.
   

Qoplamalar surtishning hamma usullarini ikkita guruhga birlashtirish mumkin:

1. 
   Bug‘ fazasidan fizik cho‘ktirish PVD;
   
2. 
   Bug‘ fazasidan kimyoviy cho‘ktirish CVD.
   

Ikkala holatda ham jarayon vakuum kamerada amalga oshiriladi, unda ba’zan texnologik gazning uncha katta bo‘lmagan bosimi hosil qilinadi (nisbatan kimyoviy neytral gazlar – Ar, N₂, etilen).
Bug‘ fazasidan fizik cho‘ktirish usullarida (PVD) yangi materialni taglikka etkazib berishning asosan ikkita usulidan foydalaniladi (rasm 1-2):

1. 
   Termik qizdirish hisobiga purkash (qizdirish juda xilma-xil usullar bilan: rezistiv, elektron-nurli, intuksion, lazerli va boshqa usullar bilan);
   
2. 
   Neytral gazlar tezlashgan ionlarining, masalan:
   

Ar ionlarning Ek kinetik energiyasi hisobiga purkash. Musbat ion Ar katodni bombardimon qiladi, katodda purkaladigan materialning nishoni va t.o. ushbu materialning fizik purkalishi yuz beradi.
Farqi – faqat materialni purkash usullarida xolos.