I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

Kontaktli eksponerlash (yoritish) 
Integral sxema (IS) larni yaratish jarayonida fotolitografiya jarayoni bir necha 
marta takrorlanadi. Ikkinchi fotolitografiyadan boshlab FSh dagi rasm bilan 1-FL da 
yarim  o‘tkazgichli  plastinka-taglikda  hosil  qilingan  rasmni  moslashtirish  zarur 
bo‘ladi.  Moslashtirishni  eksponirlashni  amalga  oshiruvchi  qurilmada  mikroskopda 
kuzatib  turib  oldingi  fotolitografiyada  yarim  o‘tkazgichli  plastinkada  hosil  qilingan 
rasm  bilan  FSh  dagi  rasm  FSh  ni  X  va  Y  o‘qlari  bo‘yicha  siljitish  orqali 
moslashtiriladi. 

---

 
148