I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

Fotorezislar 
 
Fotorezislar  (FR)  kislota  va  ishqorlarga  chidamli,  ma‘lum  to‘lqin  uzunligidagi 
yorug‘likka sezgir moddalardir. 
Yorug‘lik ta‘sirida eruvchanligi ortuvchi FR lar pozitiv FR lar deyiladi, aksincha 
yorug‘lik ta‘sirida erimaydigan holatga o‘tuvchi FR lar negativ FR lar deyiladi. 
Pozitiv  FR  dan  foydalanilganda  FSh  dagi  rasm  yarim  o‘tkazgichli  plastinkada 
xuddi shunday hosil bo‘ladi. 
Negativ FR dan foydalanilganda plastinkada rasmning aksi hosil bo‘ladi. 
Yarim o‘tkazgichli IS lar texnologiyasida negativ FR sifatida polivinil sinnamat 
(PVЦ)-  polivinil  spirti  murakkab  efiri  va  qorishma  kislotasi  ishlatiladi.Bu  FR 
yorug‘likka sezgirlik sohasi ultra binafsha nurga to‘g‘ri keladi. U kukunsimon bo‘lib 
oq  yoki  sariq  randa  bo‘ladi.  Organik  eritgichlar  toluol+xlorbenzol,  atsetat 
metilinglikol+metoksilol aralashmalarida eriydi. 
FR  qatlamining  kislotaga  chidamliligi  HF    va  HNO
3
  kislotalarida  katta  emas. 
Himoyalovchi FR qatlami qalinligi 0,5 mkm bo‘lganda kremniyda yemirish mumkin 
bo‘lgan chuqurlik 10 mkmdan, germaniyda 40 mkmdan oshmaydi.  
d
0
 
p 
n 
x 

 
d 

---

 
145 
Planar  texnologiyada  PVЦ    markali  FR ti  SiO
2
  qatlamni  yemirgichdan  himoya 
qilish  uchun  ishlatiladi.  Pozitiv  FR  sifatida  1,2-naftoxinandiazit  (2)-5-novolak  sulfo 
efirining  turli  polimerlaridan  iborat  aralashma    ishlatiladi.  Eritgich  sifatida  spirtlar, 
ketonlar,  aromat  uglevodorodlar,  dioksan  ksilol  ishlatiladi.  NXDA-  naftoxinandiazit 
FR  tining  yorug‘likka  sezgirligi  ultra  binafsha  yorug‘likda  PVЦ  FR  tiga  nisbatan 
katta to‘lqin uzunligi tomonga siljiydi. FR ning asosiy parametrlari:  
- yorug‘likka sezgirligi: hosil qilingan shaklning aniqligi. 
-  ajratish  qobiliyati:  FR  yordamida  1mm  da  hosil  qilish  mumkin  bo‘lgan 
chiziqlar soni. 
-  kislotaga  chidamliligi:  ayrim  nuqtalar  va  qirralarning  kislotada  yemirilish 
darajasi bilan baholanadi. 
   
Fotorezislarning asosiy turlari va parametrlari                         9.2-jadval 
FR 
markasi 
FR turi  FR 
rangi 
Ajratish 
qobiliyati 
chiziq/mm 
 ochiltiruvchiga    chidamliligi 
sek 
FP-307 
pozitiv  qizg‘ish  500 
90 
FP-330 
pozitiv  qizg‘ish  400 
60 
FP-333 
pozitiv  qizg‘ish  500 
180 
FP-334 
pozitiv  jigarran
g 
400 
600 
FP-383 
pozitiv  qizg‘ish  400 
60 
FP-RN-7-
2 
pozitiv  jigarran
g 
400 
2400 
FN-11  
negativ  jigarran
g 
100 
chidamli 
FN-103 
negativ  to‘qqizi
l 
50 
chidamli 
FN-106 
negativ  sariq 
200 
chidamli 
FN-108 
negativ  qizg‘ish  400 
chidamli