I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

Implantatsiya qilingan qatlamlarning elektrofizik xossalarini o’rganish usullari.  
Implantatsiya qilingan qatlamning asosiy parametrlari:   

  qatlam qarshiligi; 

---

 
143 

  p-n-o‘tish chuqurligi; 

  qatlam sirtidagi kirishma miqdori. 
Qatlam solishtirma qarshiligi to‘rt zondli usul bilan tekshiriladi. Plastinka sirtida 
zondlar  bitta  to‘g‘ri  chiziqda  yotib,  ular  orasidagi  masofa  bir  xil  bo‘lishi  kerak. 
Chetki  zondlardan  tok  o‘tkaziladi,  o‘rtadagilarida  kuchlanish  tushishi  o‘lchanadi. 
Agar qatlam juda yupqa va yuzasi katta bo‘lsa kuchlanish quyidagicha aniqlanadi: 
5324
,
4
1
2
5
,
0
ln
2
ln
)
2
ln
2
ln(
2
s
s
S
IR
IR
s
s
s
s
IR
U







     
 
R
S
=4.5324∙U/I 
R
S 

qatlam  qarshiligi,  [Om/sm
2
] 

  birlik  yuzadagi  qatlam  qarshiligi  o‘lchov 
birligi.  
p- n-o‘tish chuqurligini aniqlash usullaridan biri plastinkani ma‘lum bir burchak 
ostida shlipovka qilib, shlipovka qilingan yuzaga kimyoviy moddalar ta‘sir ettirilsa n 
va p sohalarga har xil moddalar qoplanadi (har xil rangda bo‘lib qoladi). Sabab n va p 
sohada  kimyoviy  reaksiya  tezligi  turlicha  bo‘lishi  yoki  metallar  bitta  sohaga 
qoplanadi,  chunki  n  va  p  sohalarning  elektro  kimyoviy  potensiali  har  xil  bo‘ladi. 
Kimyoviy  rang  berish  usuli  yordamida  n
+

n,  p
+

p-o‘tish  chuqurligini  ham  aniqlash 
mumkin. 
d
d
d
x
x
d
tg
0
0
cos
sin







   bunda d
0
=d∙tg

=1-5
0
  sin

=d
0
/x  cos

=d/x 
     Ko‘pincha  kimyoviy  rang  berish  uchun  NF  ga  0,1%    NNO
3
qo‘shib 
tayyorlangan yemirgichdan foydalaniladi. Bu yemirgich surilganda p- soha qorayadi, 
n-  soha  o‘zgarmaydi.  Agar  yemirgich  sifatida  NF  ning  o‘zi  ishlatilsa  shlipovka 
qilingan  yuza  kuchli  yoritiladi. Legirlangan  qatlam  sirt  yuzidagi  kirishma  miqdorini 
aniqlash uchun to‘rt zondli usul bilan sirtining solishtirma qarshiligi R
S
 va p-n-o‘tish 
chuqurligi  d
0
o‘lchanadi.  Bo‘lardan  o‘rtacha  solishtirma  elektr  o‘tkazuvchanlik 
topiladi: 

  =  1  \  R
s
  d
o   
buni  bilgan  holda  sirt  yuzidagi  kirishma  miqdorini  quyidagicha 
hisoblanadi: 
dx
N
x
N
N
e
d
d
R
d
s








]
)
(
[
)
(
1
1
0
0
0
0
0


   
 
N(x) 

 legirlangan qatlamda kirishmalarni taqsimoti. 
Ionlarni  implantatsiya  qilish  orqali  legirlangan  qatlamlarda  kirishma  atomlarini 
taqsimoti  turli  fizik  usullar  bilan  aniqlanadi.  Keng  qo‘llaniladigan  usullardan  biri 
ikkilamchi ionlarning mass-spektroskopiyasidir. Bunda legirlangan qatlam vakuumda 
argon  ionlari  bilan  bombardimon  qilinib  qatlamdan  atomlar  changlatiladi.  Hosil 
bo‘lgan ikkilamchi ionlar oqimidan mass-analizator yordamida kirishma ionlar ajratib 
olinadi.  Bu  ionlarning  hosil  qilgan  toki  ularning  sirt  yuzidagi  miqdoriga, 
proporsional,  ionlarning  tugagunicha  ketgan  vaqt  kattaligi  qatlam  qalinligiga 

---

 
144 
proporsional  bo‘ladi.  Shuning  uchun  ion  tokining 
vaqtga  bog‘liqligi  kirishma  miqdorining  qatlam 
bo‘yicha taqsimotiga mos keladi.