Фоторезисты с химическим усилением: прорывное направление или тупик

Условия нанесения фоторезиста
Для обеспечения высокого процента выхода годных плат тип фоторезиста должен соответствовать степени волнистости поверхности материала, вызванной переплетением нитей стеклоткани в диэлектрике (так называемый феномен доминирования стеклоткани). Это очень важно при изготовлении рисунка с высоким разрешением.
Преодоление феномена «доминирования стеклоткани» во многом зависит от типа используемого фоторезиста и может быть осуществлено путем:
— увеличения температуры валиков при нанесении фоторезиста;
увеличения давления;
— нанесения фоторезиста на пониженных скоростях;
— использования предварительного нагрева плат.
Чрезмерно высокая температура валиков ламинатора и/или подогрева заготовок может привести к сморщиванию фоторезиста. Верхний температурный предел определяется тенденцией фоторезиста к сморщиванию. Повышение температуры валика, подогрева и увеличивающееся давление должны быть тщательно выверены, чтобы не произошло повреждения покрытия из-за того, что фоторезист будет затягиваться в сквозные отверстия.
Уменьшение давления на валах (при нанесении фоторезиста) и температуры может потребоваться при «тентинге», чтобы уменьшить повреждения покрытия и ослабить продавли-вание фоторезиста в сквозные отверстия. Условия нанесения фоторезиста всегда должны соответствовать его пластичности.
Температура плат на выходе
Контроль температуры фоторезиста на заготовке на выходе из ламинатора используется для проверки правильности нанесения фоторезиста. Температура платы на выходе зависит от толщины платы, конструкции ламинатора, наличия предварительного нагрева платы, температуры валиков для нанесения фоторезиста, скорости его нанесения. Рекомендуется использовать контроль температуры как инструмент контроля качества, но не в качестве технических требований.
Рекомендуемые температуры заготовок на выходе:
— внутренние слои — 50…60°С;
— внешние слои — 43…55°С;
— покрытые золотом — 48…55°С.
Замер температуры заготовки на выходе осуществляется термополосками.