Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
478 
чувствительностью на основе кремния с нановаризонными структурами. 
Гелиотехника, 2014, №2, С. 3-5. 
6.
Бахадырханов М.К., Исамов С.Б., Зикриллаев Н.Ф., Тачилин С.А. 
Счетчики фотонов ИК-излучения Солнца на основе кремния с 
многозарядными нанокластерами атомов марганца. Гелиотехника, 2012, № 1, 
С. 62-65. 
7.
Бахадырханов М.К., Исамов С.Б., Хайдаров К., Эгамов У. Новые 
чувствительные фотоприёмники на основе сильнокомпенсированного 
кремния. Вестник ТУИТ, 2010, № 3, С. 68-71. 
8.
Бахадирханов М.К., Исамов С.Б., Исмайлов Б.К. Безэрозионная 
технология легирования кремния серой и повышение концентрации ее 
электроактивных атомов. Приборы. 2019 №4 (226). С. 26-28. 
9.
Бахадырханов М.К., Зикриллаев Н.Ф., Исамов С.Б., Ковешников 
С.В. Фотоэлектрические явления в кремнии с многозарядными 
нанокластерами. Монография. LAP LAMBERT Academic Publish 2019, 276 с. 
ISBN: 978-620-0-487018. 
10.
Бахадырханов М.К, Зикриллаев Н.Ф., Аюпов К. С. Оптимальные 
условия легирования для получения кремния с собственной проводимостью. 
//Приборы. Технология, оборудование и новые материалы. – 2018, № 11 (221). 
С. 40–42. 
ВЛИЯНИЕ ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ЛЕГИРОВАННОГО 
ГЕРМАНИЯ НА ДИФФУЗИЮ АТОМОВ
МАРГАНЦА В КРЕМНИИ

 
С.Б. Исамов, Г.А. Кушиев. О.Б Турсунов, З.Б.Худойназаров.
 
Ташкентский государственный технический университет, 
Узбекистан, 100095 Ташкент, ул. университетская 2.
Тел:[phone], E-mail: [e-mail] 
:
 
 
Легирование одиночными примесными атомами кремния было 
достаточна 
изучена 
и 
привело 
к 
бурному 
развитию 
отрасли 
микроэлектроники [1-3]. На сегоднешний день удалось создать нанокластров 
примесных атомов в решетки кремния, т.е. получены объемно-
наноструктурированные материалы. Это привело к открытию новые грани 
возможности кремния [4-6]. Представляет интерес исследование диффузии 
кремния с двумя типами примесных атомов. Поэтому данной работе 
представлено результаты исследования фотоэлектрических свойств кремния, 
легированного марганцем и германием.
Для исследования воздействий примеси германия и марганца между 
собой при диффузии их в решетке премия кремния было выбрано материал, 
предварительно легированный при выращивании германию в кремнии 
(N
Ge
=9*10
19
m
3
) Для всех случаев размеры образца был одинаковым 
V
= 

---