Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
184 
15.
E.B.Saitov, N.F.Zikrillayev, Photovoltaic Effect In Silicon With Schottky 
Micro-Barriers Created On The Basis Of Nickel Impurity Atoms And 
Spectral Characteristics. European Journal of Molecular & Clinical Medicine, 
Volume 08, Issue 01, pp.982-992, 2021. 
16.
Saitov E.B, Toshov J.B, Umarov Sh.B., Fayzullayev B.H., Abdullabekov I.A, 
NasriddinovB.A. Optimization of Solar Power Systems in Different Regions. 
Journal of critical reviews, ISSN - 2394-5125 VOL 7, ISSUE 15, 2020. 
17.
Saitov Elyor Bakhriddinovich, Pulatov Abror Obidovich. Development of an 
Experiment Control System at a Laboratory Installation of a Photovoltaic 
Station in a Remote access Mode Based on Web Technologies. Journal of 
critical reviews, ISSN - 2394-5125 VOL 7, ISSUE 15, 2020. 
 
 
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА НА ВЕЛИЧИНУ 
УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНОК n - ITO
ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ CVD 
 
Р.Р. Кабулов
1
, М.У. Хажиев
1
, Х.М. Илиев
2
, У.Х. Курбонова
2
, К.А. 
Амонов
1
, С.O. Садуллаев
1
, Ш.М. Уринбоев
2 
1
Физико-технический институт НПО "Физика-Солнце" Академии наук 
Республики Узбекистан, Ташкент 
2
Ташкентский Государственный Технический Университет
им. Ислама Каримова, Ташкент e-mail: [e-mail]
 
Работа 
посвящена 
исследованию 
технологии 
получения 
электропроводящих, селективно прозрачных плёнок оксидов индия и олова 
(indium tin oxide, ITO). Пленки ITO 
(
соединения содержащее 90 вес. % In
2
O
3
и 10 вес. % SnO
2
) – широко используются в приборостроении в качестве 
прозрачно - электропроводящих контактных слоев в солнечных элементах 
различного типа, дисплеях, органических светодиодах (OLED), сенсорах и 
других полупроводниковых приборах. Для изготовления слоев ITO 
применяются различные методы, такие как, лазерные, магнетронные, ионно-
плазменные и другие методы распыления. [1,2] 
Данная работа посвящена исследованию структуры, удельного 
сопротивления, коэффициента отражения в ИК диапазоне электромагнитного 
излучения пленок ITO, выращенных методом CVD (chemical vapor deposition 
– химическое парофазовое осаждение) в квазизамкнутом объеме.
В отличие от обычного спрей – пиролиз метода синтеза, в котором 
раствор подается непосредственно на подложку, в нашем случае ITO - 
пленки выращивались на лабораторной установке, в квазизамкнутом объеме, 
с применением отдельного испарителя с температурой 80÷120
0
С, для 
создания парогазовой фазы. Это позволило, с одной стороны, уменьшить 

---