Conference Paper

Фойдаланилган адабиётлар: 
1. U. Khalilov, C.Vets, E.C.Neyts, Catalyzed growth of encapsulated carbyne. Carbon153, 1-
5 (2019). 
2. G.T.Bae and M.Aikens, Improved ReaxFF Force Field Parameters for Au–S–C–H 
Systems. J. Phys. Chem. A 117, 10438–10446 (2013) 
3. U.Khalilov, E.C.Neyts, Mechanisms of selective nanocarbon synthesis inside carbon 
nanotubes. Carbon171, 72-78 (2021). 
ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ SnO
2
, ZnO И CuO ПЛЕНОК НА Si ПОДЛОЖКЕ 
Зайнабидинов
1
 С.З., Рембеза
2
 С.И., Йулчиев
1
 Ш.Х., Бобоев
1
 А.Й. 
1
Андижанский государственный университет им. З.М. Бабура,
ул. Университетская,д.129. Андижан, 170100, Узбекистан. 
2
Воронежский государственный технический университет, 
Московский просп., 14, Воронеж, Воронежская обл., 394000, Россия. 

В данном сообщении приводятся результаты получения пленок SnO
2
, ZnO и 
CuO методом спрей-пиролиза. Нанесение пленок производились на подложки кремния 
р
-типа проводимости с кристаллографической ориентацией (100). Подложки 
нагревались керамическим тепловым элементом размером 245х60 мм. Температура 
поверхности измерялась пирометром HoldPcak hp-
1500. Были опробованы разные температурные 
режими от 300 до 500 °С и была выбрана оптимальная 
температура 420 °С для SnO, SnО
2
:Sb, ZnO и Zn
2
SnО
4
, 
а для CuO-340 °С. Для нанесения раствора данным 
методом создавался аэрозоль при помощи аэрографа 
OPH1R АС004Д имеющего сопло диаметром 
d
= 0,3 
мм, давление воздуха для аэрографа создавалось 
безмасляным поршневым компрессором AS186. 
Принципиальная схема установки спрей-пиролиза 
показана на рисунке 1. 

Рис.1. 
Принципиальная 

схема