Conference Paper

 
установки
спрей-пиролиза:1-разогретая подложка; 2
– 
керамический нагреватель;
 
3
– 
компрессор; 4
 - 
емкость для раствора; 5 – аэрограф; 6 – штатив.
 
Синтез
 
SnО
2
, ZnO, и CuO пленок осуществлялся из водных растворов 
соответствующих солей
 
металлов. Для синтеза пленки оксида
 
олова в качестве прекурсора 
использовался хлорид олова [SnCl
2
·2H
2
O], раствор оксида цинка синтезировался из 
ацетата цинка [Zn(CH
3
COO)
2
·
2H
2
O]. 
Количество солей
 
металлов в растворе 
соответствовало концентрации 0,25 М. Синтез оксида меди (II) осуществлялся из 
водного раствора хлорида меди [SnCl
2
·2H
2
O], молярное содержание меди в растворе 
0,1 М. В роли растворителя использовалась дистиллированная вода в объеме 200 мл. 

---

Техник ва технологик фанлар со
ҳ
аларининг инновацион масалалари. ТДТУ ТФ 2020 
428 
Для того чтобы избежать гидролиза
соли хлорида олова в воде, добавлялась соляная 
кислота в количестве 1 мл. Затем растворы перемешивались в течение 30 минут. 
Перемешивание проводилисьБ при комнатной температуре на магнитной мешалке IKA 
RH basic 2. Упрощенная схема изготовления пленок SnO
2
, ZnO и CuO методом спрей-
пиролиза показана на рис. 2. 
 
Рис. 2. Схема изготовления пленок CuO, SnO
2
 
и ZnO методом спрей-пиролиза.
 
Параметры нанесения CuO были подобраны следующие: давление компрессора 
1,5 бар, расстояние от источника аэрозоля до подложки 80 см, расход раствора 7 
мл/мин. Для поддержания температурного режима процесса нанесения через каждые 6 
минут выдерживалась пауза длительностью 4 минуты. После напыления пленки CuO 
производилась дополнительная операция изотермического отжига при 500 °С в течение 
3 часов для снижения сопротивления посредством кристаллизации. 
Напыление пленок SnО
2
и ZnO осуществлялось при давлении воздуха 2 бар со 
скоростью 8 мл/мин. Расстояние от распыляющей головки до предварительно 
разогретого предметного стекла составляло 85 см. Пленка SnО
2 
наносилась в один слой 
в течение 18 минут. Многослойное напыление пленки ZnO происходило по 1 мин с 
последующим перерывом в 30 секунд для восстановления температуры подложки. 
Таким образом было получено 14 слоев. 
Синтез металлооксидной пленки SnО
2
:Sb 1% происходил из раствора 
изопропилового спирта объемом 200 мл. Для синтеза пленки в качестве прекурсора 
использовался двухводный хлорид олова [SnCl
2
·2Н
2
0], с молярной концентрацией 0,25 
М. Сначала данный раствор имел молочно-белый цвет, затем осуществлялось его 
перемешивание на магнитной мешалке с подогревом IKA RH basic 2 при температуре 
80 °С в течении 60 минут до польной смены
 
цвета раствора на прозрачный. В качестве 
легирующей примеси использовался хлорид сурьмы [SbCl
3
] в количестве 1 ат.% в виде 
сурьмяного масла [SbOНCl
2
+НС1]. 
Напыление пленки SnO
2
:Sb осуществлялось до польного расхода раствора при 
давлении воздуха 2 бар со скоростью 8 мл/мин. Расстояние от распыляющей головки до 
предварительно разогретого предметного стекла составляло 35 см. Нанесение данной 
пленки происходили небольшими порциями по 10 секунд с паузой в 20 секунд. 
Для синтеза пленки станната цинка в качестве прекурсоров были выбраны 
ацетат цинка (Zn(СН
3
СОО)
2
·2Н
2
0] и хлорид олова [SnCl
2
·2Н20]. Ацетат цинка 
(Zn(СН
3
СОО)
2
·2Н
2
O] был использован в качестве источника оксида цинка, а хлорид 
олова [SnCl
2
·2Н
2
O] в качестве источника оксида олова при синтезе соединения 
Zn
2
SnO
2
. Молярное соотношение ацетата цинка и хлорида олова в растворе 
подбиралось как 2:1. Рассчитанное количество хлорида олова и ацетата цинка 
растворялось в дистиллированной воде для формирования двух растворов. К раствору 
хлорида олова добавлялась соляная кислота НСl для предотвращения гидролиза соли. 
Затем два раствора смешивались, и в конечном растворе выпадал осадок,потом еще 
добавлялась соляная кислота. 
Водные растворы прекурсоров 
нанесение раствора 
Готовая пленка металлооксида 
перемешивание 30 мин при 
комнатной температуре 
разогретая подложка 

---

Техник ва технологик фанлар со
ҳ
аларининг инновацион масалалари. ТДТУ ТФ 2020 
429 
Рис. 3. Схема изготовления пленки Zn
2
SnO
4
методом спрей-пиролиза 
Дальнейшее перемешивание осуществлялось в течение 2 часов при комнатной 
температуре. Упрощенная схема изготовления пленки Zn