6. “Яримўтказгичлар физикаси” фанидан маъруза матнлари

1-Жадвал.


Абразивнинг донадорлик рақами ва
донадорлик œлчами орасидаги муносабат

Донадорлик рақами	Донадорлик œлчами (мкм)
М28 М20 М14 М10 М5	28...20 20...14 14...10 10...7 5...3

2-Жадвал.

Силлиқловчи абразивларнинг Мосс шкаласи

бœйича қаттиқлиги

Силлиқловчи абразив	Мосс шкаласи бœйича қаттиқлик даражаси
А-олмос В4С-бор карбид SiC-кремний карбиди Al2O3-корунд Cr2O3-хром оксиди	10 10 9,5 9,2 7-8

Пластиналарга механик ишлов берилгандан сœнг уларнинг параллеллиги, яссилиги, ҳамда эгилмаганлиги текширилади. Пластиналар сиртини текшириш амалиёти ишлов беришнинг œрта ва сœнгги босқичларида, сиртнинг бир неча нуқталарида олиб борилади. Мунтазам ишлов берилгандан сœнг пластина сиртида ҳар хил излар, чуқурча ёки дœнгликлар бœлмаслиги керак. Пластина қалинлигининг œзгариши 5-расмда кœрсатилган.

ЯРИМŒТКАЗГИЧ МАТЕРИАЛ

КРЕМНИЙГА КИМЁВИЙ ИШЛОВ БЕРИШ

Яримœтказгич асбоблар ишлаб чиқаришда кимёвий жараёнлар-дан технологик босқичларнинг ҳамма қисмларида фойдаланилади. Кимёвий ва электркимёвий ишлов бериш жараёнларини тœрт босқичда кœриш мумкин:

1. Сиртни тозалаш ва турђунлаштириш.
2. Сиртга сайқал бериш.
3. Яримœтказгич материал ёки р-n œтишнинг сифатини текшириш.
4. Яримœтказгич сиртини турђунлаштирувчи, ҳимоя қилувчи ва у билан туташувчи модда билан қоплаш.
Кœпгина кимёвий жараёнларда яримœтказгич сиртини тозалаш билан бођлиқ унинг ички бошқа нуқсонларини аниқлашда, материал сиртидаги қатламни олиб ташлашда кимёвий едириш жараёнининг ҳиссаси катта. Сиртдаги моддалар билан таъсирлашиш табиатига кœра кимёвий едириш бир қанча босқичлардан ташкил топган эриш таъсирлашувидан иборатдир:
1. Едирувчи ионларни эритма ҳажмидан яримœтказгич сиртига чиқарилади.
2. Яримœтказгич сиртида едирувчи молекулаларнинг сœрилиши юз беради.
3. Яримœтказгич сирти ва едирувчи билан сœрилган молекулаларнинг œзаро таъсири.
4. Яримœтказгич сирти билан таъсирлашув маҳсулотининг десорбцияси.
5. Эритма ҳажмидаги таъсирлашув маҳсулотларини яримœтказгич сиртидан олиб ташлаш.
Едириш натижасида сирт силлиқ бœлиши керак. Кимёвий едириш усуллари 5 хил бœлади:
1. Изотроп едириш - монокристалнинг ҳамма йœналишлари бœйича бир хил едириш тезлиги билан яримœтказгичнинг эриш сиртидаги бузилган қатламни олиб ташлаш ва сиртга сайқал беришдан иборат.
2. Анизотроп едириш - монокристалнинг турли ҳар хил йœналишларида турлича тезлик билан яримœтказгичнинг эриши; ҳажмий ва сиртий тузилишли нуқсонларни металлографик ва оптик текшириш учун қœлланилади.
3. Танланма едириш - сиртнинг ҳар хил соҳасида турлича тезлик билан, шунингдек тагликнинг кристаллографик йœналишида (ёки танлаб олинган едирувчиларда қатламларни ҳар хил кимёвий таркибда турлича едириш тезлиги билан) яримœтказгичларнинг эриши; таглик кристалл тузилишларининг мос тушмаслиги (дислока-циялар, жойлашган нуқсонлар, доначалар чегараси ва бошқалар)ни ва нуқсонларни кœрсатиб беради.
4. Локал едириш - тагликнинг фақат берилган ва қатъий белгиланган соҳасидан материални олиб ташлаш; таглик сиртида берилган рельефда ва аниқ шаклда кристалл олишни таъминлайди; керакли тузилиш расмини чизишга ёрдам беради. Бундай кимёвий едирувчилар учун изотроп ва анизотроп едирувчилардан фойдаланилади.
5. Қатламли едириш - ион имплантациясидан сœнг яримœтказгич сиртида бир хил кетма-кетликдаги юпқа қатламлар олинади, яримœтказгичга легирланган киришмалар диффузияси œрганилади; эпитаксиал қатламлар ва тагликнинг кристалл тузилиши ҳажмий ва сиртий нуқсонларни œрганиш учун қœлланилади. Бу усулда 0,1 мкм/мин дан кичик едириш тезлигига эга сайқал берувчи едиргич-лардан фойдаланилади.
Едириш тезлигини диффузиявий текшириб туриш имконига эга бœлган едирувчилар сайқал берувчи деб аталади, жараённинг œзи эса интегралли деб аталади. Едирувчининг глицерин, полиспирт қœшимчаларини қœшиш ҳисобига ёпишқоқлиги ортиши билан унинг сайқаллаш хусусияти яхшиланади.
Яримœтказгичларни едириш механизми материалнинг турига, едирувчининг таркибига бођлиқ ҳолда иккита: электрик ва кимёвий механизмларга ажратилади. Едириш жараёни кимёвий кинетика қонунларига бœйсунади. Яримœтказгич сиртидаги зарядли ҳолатлар бунда ҳеч қандай роль œйнамайди.