6. “Яримўтказгичлар физикаси” фанидан маъруза матнлари

ОМИК КОНТАКТНИ ҲОСИЛ ҚИЛИШ УСУЛЛАРИ

Омик контактларни (1-жадвал) одатда эритиш, электркимёвий ёки кимёвий қоплаш, вакуумда буђлатиш, термокомпресс ёки ультратовуш усуллари ёрдамида олинади.

Эритиш усули билан омик контактларни ҳосил қилиш учун металлнинг юпқа қатлами кристалл пластина сиртига қопланади ва у эриш температурасигача қиздирилади. Ушбу ҳолда уларда яримœтказгичнинг қандайдир миқдори эрийди. Совитишда яримœтказгич билан унда эриган металл атомлари ва легирланган киришмалардан иборат тизим кристалланади ва унинг натижасида яримœтказгичнинг кучли легирлан-ган қатлами юзага келади ва Ме-n⁺-n^- ёки Ме-р⁺-р^- турдаги тузилиш ҳосил бœлади. Эритиш жараёнида металл билан ҳœлланишни яхшилаш учун яримœтказгич сирти киришмалар ва оксид қатламдан тозаланади. Яримœтказгич-металл контакти соҳасида эритиш температурасидан хона температурасигача совитиш давомида катта қолдиқ кучланиш ҳосил бœлмаслиги учун яримœтказгич ва металлнинг иссиқликдан кенгайиш коэффициентлари қийматларини яқин қилиб олиш керак.
Электркимёвий жараёнда омик контактларни олиш катодга металлни œтказиш билан содир бœлади. Кимёвий ва электркимёвий œтқазиш асосан никель ва олтин контактларни олиш учун қœлланилади. Никелни кимёвий œтказиш фосфат электролити асосида амалга оширилади, бу эса n-тур кремнийдаги контакт қаршилигини етарлича камайтириш имконини беради.
Олтинни сиртга œтқазиш олтин хлорид ёки дицианоарат калий КАu(CN)₂ асосидаги ишқорий электролитлардан электркимёвий усуллар ёрдамида амалга оширилади. Олтинни (Au) сиртга œтқазиш тезлиги 20-30 А/м² ва 300-340 К температурада 0,025-0,05 мкм/мин. дан ошмаслиги лозим.
Вакуумда металлни буђлатиш қиздирилган спираль ёрдамида электрон билан уриш орқали амалга оширилади. Ҳозирда бу усул интеграл тузилмалар тайёрлашда кенг қœлланилмоқда.
Катодий чанглатиш усули билан металл қопламаларни ҳосил қилишда буђлатиладиган металлни қиздириш œрнига уни инерт газ билан, кœпинча аргон ионлари билан урилади.