6. “Яримўтказгичлар физикаси” фанидан маъруза матнлари

Кремний намуналарини металлографик усул билан текшириш

Яримœтказгич материал кремний (Si) намуналарини металлографик текшириш учун қуйидаги технологик жараёнларни амалга ошириш зарур:

1. Si пластиналарини механик тарзда силлиқлаш ва дистилланган сувда яхшилаб ювилади.
2. Силлиқланган кремний намуналарини олмос кукунлари билан тœйинган велюр ёки батист сайқал бергичлар ёрдамида кœзгудек даражага етгунча сайқал берилади.
3. Намуналарнинг кимёвий ишловини œтказиш (бузилган оксидли қатламларни олиб ташлаш, кимёвий сайқал бериш).
4. Кремний (Si) учун танлама едирувчини қуйидаги таркиб асосида тайёрланади:
/12г/ KOH + /18г/ K₃[Fe(CN)₆] + 100 г H₂O
5. Эритманинг бир қисмини тоза кварц стаканга қуйиб қиздирилади, сœнгра унга намуна солинади.
6. Si ни кимёвий едириш жараёни 5-6 минут давомида едирувчи эритманинг қайнаш температурасида олиб борилади.
7. Едириш жараёни тугагандан сœнг намуналарни ҳавога чиқармасдан бир неча марта дистилланган сувда ювилади.
8. Намуналарни қуритиш шкафига жойланади.
9. Қуритилган намуналарни оптик микроскопларда, масалан: МИМ-7, МИМ-8 ва бошқа турдаги микроскоплар ёрдамида (микроскоплар билан ишлаш қоидалари қурилма қœлланмасида берилган бœлади) текширилади.


Натижаларни ишлаш

1. Кремний сиртидаги нуқсонларнинг œртача зичлиги қуйидаги ифода билан топилади:

_{N =} ⁿ_
S
Бунда n - кœриш соҳасидаги дислокациявий чуқурчаларнинг œртача сони, S - кœриш соҳасининг юзи.
2. Едирилиш шаклларига асосланиб кремний намунасининг мœлжал йœналтирилганлигини аниқлаш. Œқув адабиётларидаги маълумотларга асосан кремний кристалларининг (111) текислигида мавжуд ва кузатиладиган нуқсонлар тенг томонли учбурчак ва (100) текислигида нуқсонлар квадрат кœринишда бœлади.