Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги ҳузуридаги олий таълим тизими педагог ва раҳбар кадрларини қайта тайёрлаш ва уларнинг малакасини оширишни ташкил этиш

2. Материаллар структурасини ўрганишда замонавий комплекс электрон микроскопик, рентген микроскопия ва рентген-спектрал микрозонд тахлили.

1. Электрон-микроскопик тахлилнинг назарий асослари.

Турли техника ва фан сохаларида электрон-микроскопик тахлил услуи кенг қфўлланилади. Юқори катталаштириш қобилиятига эга бўлганлиги сабабли (оддий микроскоплардан 100 баробар кучлироқ) элетрон микроскоплар микрообъектларни структурасини атом-электрон қатламлари даражасида ўрганишга имконият беради. Электрон микроскоплар икки асосий турга бўлинади:
1. Ўтқазувчи электрон микроскоплар (просвечивающие - ПЭМ) – нур ўтқазиш натижасида намуналар ўрганилади.
2. Растро нурли электрон микроскоплар (растровые РЭМ) – намунадан қайтган ёки иккиламчи электронлар ўрдамида.
Замонавий электрон микроскопик усулларга яна микродифракция ва электрон-зонд тахлили қиради.
Замонавий электрон микроскопик усуллари кимё маҳсулотларини ташкил этувчи минераллари ва агрегатларини нозик микроморфологиясини, материаллардаги турли нуқсон ва дислокацияларни, материал жинсларини бир хилмаслиги даражасини аниқлашда, турли фазаларнинг морфологик ва структура таркиби, кристалл панжаранинг периодиклиги ва нуқсонларини ўрганишга имконият беради.
Электро микроскопнинг тузилиши оддий микроскопга ўхшаш бўлиб, у электрон пушка, магнит ёки электростатик турли фокусловчи линзалар тўплами, предмет столи билан намуна жойлаштириш камераси, флуоресценция экрани ва фотокамера, электр қуввати блоки ва вакуум системасидан иборат. Электро микроскоплар турлари - Ўтқазувчи электрон микроскоп BS-613 “Tesla”, растро нурли электрон микроскоп S-405a “Hitachi”, JEM-400EX (JEOL, Japan) – расм .

19-Расм. JEM-400EX (JEOL, Japan) электрон микроскопининг кўриниши ва техник кўрсаткичлари.
Материални электрон микроскопик усулида тахлил қилишда намуна тайёрлаш анча мураккаб хисобланади ва узоқ вақтни талаб этади, айниқса ўтқазувчи ПЭМ микроскопик тахлили учун. Тайёр маҳсулотнинг юзасини ва структурасини ўрганиш учун ундан реплика тайёрлаб олинади. Реплика – бу текширилаётган материалдан фарқли бошқа материалдан тайёрланган, унинг юза рельефини қайтарадиган юпқа плёнка кўринишида бўлади. Бунда текширилаётган намуна юзасига бошқа модданинг юпқа қатлами суртилади, кейин ушбу қатлам эхтиёт билан кўчириб олинади ва электрон микроскопда текширилади. Текширилаётган модданинг таркибига кўра репликаларни материали хам фарқланади: баъзиларда 1) пластик материаллар (лакли коллодий, формвар репликалар); 2) вакуумда парланадиган моддалардан (напыленные реплики — углерод, металл билан углерод, металлар, кремний монооксиди, кварц), 3) намунанинг юзасини оксидланиш натижасида (окисные реплики — окисленный материал объекта). Репликаларни ўрганиш материалнинг структурасини ташкил этувчи минерал заррачаларнинг кўринишини ўрганишга имконият беради (атом размеригачан). Хамма электрон микроскопик тахлил лабораторияларида материалларни вакуумда термик ишлаш имконияти мавжуд бўлади.
Майда заррачали дисперс моддаларни (тупроқ, цемент кукуни) ўрганишда коллодийли плёнкалардан фойдаланилади. Бунда суспензия усулида намуна тайёрлаш керак бўлади: текширилаётган материал биринчи металлик хавончада, кейин эса сувда ультратовуш дисперслаш ёрдамида майдаланилади. Тайёр бўлган сувли намуна пипетка ёрдамида коллодийли подложкали электронно-микроскопик элакка (ячейкани ўлчамлари 0,1 ммдан кичик) томизилади ва қуритилади. Қуритилгандан сўнг намунани ПЭМ усули ёрамида ўрганиш мумкин.