‘zbek ist0n respublikasi oliy va ‘rta maxsus ta’lim vazirligi X. K. Aripov, A. M. Abdullayev

6.10. 0 ‘YCH maydoniy tranzistorlar
Hozirgi kunda m etall-yarim o‘tkazgich (M Y) turli yuqori chastotali
m aydoniy tran zisto r yoki arsenid galliy asosidagi S hottki barerli
M Tlarning 0 ‘Y CH diapazonda q o ‘llanilishi BTlarga nisbatan ortib
borm oqda.
MY tranzistorning ishlash prinsipi p-n o ‘tish bilan boshqariladigan
M Tning ishlash prinsipiga o ‘xshaydi. Shottki bareri yarim o‘tkazgichning
kimyoviy toza sirtiga o ‘ta toza m etall purkash bilan hosil qilinadi.
B arer balandligi я -G aA s-A g tuzilm ada 0,88eV, «-G aA s-A l tuzilm ada
0,80eV, я -G aA s-R t tuzilm ada 0,84eV ni tashkil etadi.
M Y tranzistorlar tuzilmasi. 0 ‘YCH diapazon uchun yaratiladigan
barcha MYA tranzistorlar legirlanmagan galliy arsenid asosida yaratiladi
(6.13-rasm).
T aqiqlangan zonasi katta b o ‘lgani uchun asosning solishtirm a
qarshiligi yuqori (107-H 0 S O m sm ) b o ‘lib, am alda dielektrikdir.
Asos sirti yaqinida ion legirlash usuli bilan n+ — turli istok 2 va
stok 8 sohalari ham da yupqa (0,1 -r- 0,2 m km ) kanal qatlam i 6 hosil
qilinadi. Sirtda zatvorning m etall elektrodi 4 (m asalan, T i/W , yoki
Au kom pozitsiya) hosil qilinadi. M etall elektrod qatlam 6 bilan
to ‘g ‘rilovchi k ontakt (S hottki bareri) hosil qiladi. L uzunlikdagi
o ‘tk a z u v c h i k a n a l a so s 1 va z a tv o r — k a n a l k o n ta k tn in g
kam bag'allashgan qatlam i 5 orasida hosil qilinadi. 3 va 7 m etall
elek tro d lar (m asalan, A u G e/A u kom pozitsiya) istok 2 va stok 8www.ziyouz.com
kutubxonasi
6.13-rasm . Metall — yarim o‘tkazgich turli M T tuzilmasi ko‘rinishi.
sohalarga om ik kontakt beradi. Istok va stok sohalari orasidagi m asofa
2-^3 m km ni, zatvor 4 uzunligi 0,5-^2 m km ni tashkil etadi. Istok va
stok om ik kontaktlar asbobning ishonchliligi va xarakteristikalariga
katta ta ’sir ko‘rsatgani sababli am alda stok teshilish kuchlanishini
oshirishga va kontaktlar qarshiligini kam aytirishga yo‘naltirilgan, istok
va stok hosil qilishda boshqa usullar ham q o ‘llaniladi.