“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

15-ma’ruza. Oje -jarayon........................................... ….......….......…............... 41
16-ma’ruza. Oje - elektron spektrometrlar .....….......…............................... 43
17-ma’ruza. Sifatiy analiz. Kimyoviy siljishlar. Miqdoriy analiz......... 47
18-ma’ruza. Ikkilamchi ionlarning mass-spektroskopiyasi (IIMS). Ionlar
ta’sirida edirish.......….......….......….......…..................................................... 51
19-ma’ruza. Ikkilamchi ionlarning mass-spektrometri (IIMS). Ikkilamchi
neytral zarralarning mass-spektroskopiyasi (INZMS)................................... 54
20-ma’ruza. Fotoelektronlarning spektroskopiyasi. Tashqi fotoeffekt
qonunlari ….......….......….......….......….......….......….......….......….......…....... 58
21-ma’ruza. Ulütrabinafsha nurlarning fotoelektron spektroskopiyasi
(UBES) ........….......….......….......…..................................................................... 61
22- ma’ruza. Fotoelektron spektroskopiya yordamida metallar va yarim
o’tkazgichlar zonalarining parametrlarini aniqlash. Metall sirti
zonalarining parametrlarini aniqlash. Aralashmasi yo’q ideal yarim
o’tkazgich zonalarining parametlarini aniqlash .............................................. 63
23-ma’ruza. Aralashmali o’tkazuvchanlikka ega bo’lgan yarim o’tkazgich
zonalarning parametrlarini aniqlash...….......….......….................................. 66
24-ma’ruza. Kremniy epitaksial qatlamlarida kristallografik nuqsonlar.
Kobolüt kremniy-(CoSi₂)ni kremniy yuzasida epitaksial stirish................. 68
25-ma’ruza. Epitaksial qatlamlarning profil bo’yicha kimyoviy tarkibi.. 72
26-ma’ruza. Katta energiyali difraktsiya usuli bilan epitaksial
plyonkalarning kristall tuzilishi haqida ma’lumot olish to’g’risida umumiy
ko’rsatmalar....….......….......….......….......….......….......…................................ 74