“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

Tayanch so’zlar:
Kimyoviy tarkib, optimal temperatura, diffuziya, yuza osti qismlar, kimyoviy birikmalar, epitaksial plyonka, o’tish qatlami, kimyoviy va elementar tarkib, ionlar bilan edirish, elektron dastasining diametri.
Savollar

1. 
   Epitaksial plyonkalarning vujudga kelishi temperaturaning ta’siri.
   
2. 
   Epitaksial qatlamlarning profil bo’yicha kimyoviy tarkibini aniqlash.
   
3. 
   O’tish qatlamining vujudga kelishi va uning tarkibi.
   
4. 
   Co/Si tizimida har xil temperaturada So atomlarining chuqurlik bo’yicha taqsimlanishi.
   
5. 
   Xona haroratida So/Si uchun chegaraviy qatlamida So atomlari konsentrasiyasining o’zgarishi.
   
6. 
   Plyonkalarning kimyoviy va elementar tarkibi chuqurlik bo’yicha qanday aniqlanadi?
   
7. 
   Idealga yaqin holatda kimyoviy tarkib qanday qismlardan iborat bo’ladi?
   

Adabiyotlar

1. 
   [1] IIq. 216-218 betlar
   
2. 
   [3] 174-184 betlar
   
3. 
   [4] 236-241 betlar
   

26-ma’ruza


Reja

1. 
   Katta energiyali elektronlar difraktsiya (KEED) usuli bilan epitaksial plyonkalarning kristall tuzilishi o’rganish.
   
2. 
   Monokristallarning difraktsion manzarasi.
   
3. 
   Tekstura kristallarining KEED tasviri.
   
4. 
   Polikristallarning KEED elektronogrammasi.
   
5. 
   Amorf qatlamlarning elektronogrammasi.
   
6. 
   Elektronogrammalardan foydalanib har xil qirralar uchun qirralararo masofalarni aniqlash formulasi.
   

KATTA ENERGIYaLI DIFRAKÖIYa USULI BILAN EPITAKSIAL PLYoNKALARNING KRISTALL TUZILIShI HAQIDA MAÚLUMOT OLISh TO’G’RISIDA UMUMIÉ KO’RSATMALAR
Yupqa plyonkalar olishda, ayniqsa, epitaksial plyonkalar olishda, ularning tarkibidan tashqari kristall tuzilishi haqida infomatsiya olish eng asosiy masaladir. Qalinligi 10-20 E dan 100-200 E gacha bo’lgan plyonkalarning kristall tuzilishi haqida katta energiyali elektronlar difraktsiyasi (DBE) usuli eng qulaydir.
DBE kartinalarini quyidagi printsiplarga asosan ajratish mumkin (26.1-rasm):

1. 
   Agar elekronogrammada (DBE kartinada) bittagina katta yorug’ fon kuzatilsa, bunday plyonka amorf bo’ladi;
   
2. 
   Agar elekronogrammalarda kontsentrik aylanalar paydo bo’lsa, u polikristallga o’ta boshlaydi, kontsentrik aylanalarning o’zi bo’lsa, to’liq polikristall bo’ladi.
   
3. 
   Agar kontsentrik aylanalarda vertikal chiziqlar paydo bo’la boshlasa, tekstura hosil bo’ladi, ya’ni monokristallga o’ta boshlaydi.
   
4. 
   Agar kontsentrik aylanalar tamoman yo’qolib, vertikal chiziqlar yoki nuqtalar hosil bo’lsa, to’liq monokristal hosil bo’ladi. Agar plyonkaning hamma qatlamlarida kristall panjara doimiysi bir xil bo’lsa, alohida nuqtalar yoki chiziqlar paydo bo’ladi, bir xillikdan chetga chiqilsa, qo’sh chiziqchalar paydo bo’ladi.
   

Monokristallar uchun elektronogrammalardan foydalanib plyonka kristall panjarasining turini (geksogonal, tetrogonal, kubik, ... ) va panjara kattaliklarini aniqlash mumkin.

Polikristall kartinalaridan foydalanib har xil qirralar uchun qirralararo masofalarni aniqlash mumkin:

Bu formula kubik panjara uchun o’rinli, d_hkl- qirralar orasidagi masofa, a - panjara doimiysi, h, k, l lar - Miller indekslarining qiymatlari. Masalan, (111) qirra uchun h=1, k=1, l=1.
Yuzalarning topografiyasini olish, ulardagi defektlarni aniqlash uchun rastarli elektron mikroskop, transmission (prosvechivayuùiy) elektron mikroskoplardan foydalaniladi.
Transmission topografiya ikki xil bo’ladi:

1. 
   Rentgen-transmission topografiya;
   
2. 
   Elektron-transmission topografiya.
   

Bu ikkala usul ham nurlarning plyonkadan o’tishiga asoslangan, bunda elektronlarning energiyasi 100-200 keV bo’ladi.
Rastrli elektron mikroskoplar juda yaxshi fokuslangan nuqtaviy elektronlar dastasining yuza bo’ylab, ya’ni X va U o’qlari bo’yicha, tez harakatlanishiga asoslangan va u yuzaning topografiyasi haqida ma’lumot beradi.