Yarimo'tkazgichli mikrosxemalarni ishlab chiqarish texnologiyasi

6. Jismoniy tozalash. Keyingi operatsiyalar uchun sirt tozaligi juda muhim. Shuning uchun, ishga tushirishdan oldin, shuningdek, texnologik tsikl davomida qayta -qayta ishlab chiqaradilar tozalash begona moddalarni yuvish, eritish va h.k. Gofret va substratlarni tozalash jarayonlari ifloslantiruvchi moddalarni texnologik jihatdan toza yuzaga mos keladigan darajada tozalashga mo'ljallangan. Eng muhimi, sirtni mexanik ishlov berishdan keyin, issiqlik jarayonlaridan oldin, har xil qoplamalar, plyonkalar, qatlamlarni qo'llashdan oldin tozalash. Tozalashda, birinchi navbatda, molekulyar organik va kimyoviy bog'langan sirt ifloslanishini, so'ngra qoldiq ionli va atomik moddalarni olib tashlash kerak. Suyuqlikni fizik tozalash jarayonida adsorbsiyalangan ifloslantiruvchi moddalar tarkibini o'zgartirmasdan desorbtsiya qilinadi, ya'ni. holda kimyoviy reaktsiyalar, oddiy tarqatish orqali. Tozalanadigan suyuqlikdan sirt ifloslanishi mumkin bo'lganligi sababli, uning doimiy yangilanishi (yangilanishi) tamoyiliga amal qilish kerak.
Yog'sizlantirish (yuvish) organik erituvchilarda (toluen, uglerod tetrakloridi, dikloroetan, spirtlar: etil, metil, izopropil va boshqalar) hayvon va o'simlik yog'larini, mineral moylarni, moylash materiallarini, mumni, kerosinni va boshqa organik va mexanik birikmalarni olib tashlash uchun ishlatiladi.
Suvga botirish maxsus muhrlangan inshootlarda, ikki yoki to'rtta vannalar bitta blokga payvandlangan, suyuqlik darajasi oshadi. Ma'lum miqdordagi plastinka va ma'lum bir erituvchi va ishlov berish vaqtining ma'lum qismi uchun yog'sizlantirish jarayonining nazorat qilinadigan parametrlari.
Erituvchi bug'larda yog'sizlantirish yuqori erish nuqtasi bo'lgan yomon eriydigan ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash uchun ishlatiladi. Juftlikda ishlov berish uchun foydalaning izopropil spirti, freonlar, xlorli uglevodorodlar. Bu usulning kamchiliklari: erituvchilarni oldindan tozalash zarurati; muhrlangan ish kameralarini o'rnatish zarurati; yuqori erituvchi xarajatlari.