Yarimo'tkazgichli mikrosxemalarni ishlab chiqarish texnologiyasi

3. Silikon gofretlarni maydalash. Taşlama - bu ishlov beriladigan qismlarning sirtini qattiq disklarda - quyma temir, po'lat, guruch, shisha va boshqa materiallardan yasalgan silliqlash asboblari - silliqlash g'ildiraklari va abraziv süspansiyonlar (bepul abraziv ishlov berish) yoki olmosli silliqlash g'ildiraklaridan ishlov berish jarayoni deb tushuniladi. bog'langan abraziv ishlov berish).
Erkin qirrali ikki tomonlama silliqlash jarayoni ustida bajarilgan maxsus mashinalar... Silliqlashdan oldin plitalar qalinligi bo'yicha saralanadi. Ular silliqlash g'ildiraklarining ishchi yuzasining tekisligini nazorat qiladi, agar kerak bo'lsa, halqali lapping bilan qayta ishlov berishni bajaradi. Keyin maydalagichlar chang va boshqa ifloslantiruvchi moddalardan tozalanadi, suv bilan yuviladi va glitserin bilan yog'lanadi. Pastki maydalagich yuzasiga ajratgichlarning tishli halqalari o'rnatiladi, ular qalinligi bo'yicha maxsus bardoshliklarga ega bo'lishi kerak va qalinligi silliqlashdan keyin kerak bo'ladigan plitalar qalinligidan bir oz kamroq bo'lishi kerak. Ishlov beriladigan yuzalar ajratgichlarning teshiklariga joylashtiriladi.
Aylanayotganda yuqori maydalagich plitalar yuzasiga erkin o'rnatiladi. Tegirmonning harakati chiroq g'ildiraklari orqali ajratgichlarga uzatiladi. Ajratgichlar olib ketadigan plitalar silliqlash mashinalari o'rtasida murakkab harakatlar qiladi, shu bilan ularni qayta ishlashning bir xilligiga va maydalagichlarning aşınmasına erishiladi.
Ikki tomonlama silliqlash uchun donasi M14 dan M5 gacha bo'lgan yashil kremniyli karbid yoki oq elektrokordund mikropowderlarining suv va glitserinli suspenziyalari ishlatiladi.
Bu usul yanada samaraliroq, sirtni yuqori aniqlikda tozalashni ta'minlaydi, plastinka yopishtirishni talab qilmaydi.
4. Pah kesish. Plitalarning yon yuzalaridagi pichoqlarni maxsus kassetaga yig'ilgan ish qismlarini abraziv ishlov berish yoki kimyoviy ishlov berish orqali olib tashlash mumkin. Ko'pincha, pichoqlar maxsus mashinada olmosli g'ildirakli profil bilan silliqlash orqali chiqariladi.