Yarimo'tkazgichli mikrosxemalarni ishlab chiqarish texnologiyasi

5. Plitalarni silliqlash. Polishing plastinkalar yuzasining mikroro'tkazuvchanligini va shikastlangan qatlamning eng kichik qalinligini minimallashtirishni ta'minlaydi, u olmos pastasi, suspenziya yordamida yumshoq pardozlash yostiqchalarida (zamsh, kigiz, kambrik, velor bilan qoplangan doiralar) amalga oshiriladi.
Cilalanish bir necha bosqichda amalga oshiriladi, abrazivning don miqdori va qattiqligi asta -sekin kamayadi va oxirgi bosqichda ishlov beriladigan materialga abraziv ta'sir butunlay yo'q qilinadi. Yakuniy bosqich aşındırıcı bo'lmagan harakatlar, plastinka yuzasidan mexanik shikastlangan qatlamni butunlay olib tashlash imkonini beradi.
Bir nechta polishing usullari mavjud:
· Mexanik (dastlabki va oraliq) polishing. Bu don miqdori 3 dan 1 mikrongacha bo'lgan olmosli suspenziyalar va pastalar yordamida amalga oshiriladi. Mexanik abraziv o'z mohiyatiga ko'ra silliqlashdan farq qilmaydi, faqat farq ishlatilgan abraziv materiallar, ularning don miqdori, abraziv yostig'i materiali va ishlov berish rejimida bo'ladi. Pırlanta uchun olmosli süspansiyonlar va pastalar ishlatilganda, olmos donalarining o'tkir qirralari ta'sirida paydo bo'ladigan plitalar yuzasida nozik chizish tarmog'i ("olmosli fon") hosil bo'ladi. "Olmos fonini" olib tashlash va sirt pürüzlülüğünü kamaytirish uchun, ba'zan yumshoq abraziv materiallar bilan mexanik abraziv qilinadi.
· Nozik mexanik polishing alyuminiy, kremniy, krom, tsirkonyum va boshqalar oksidi asosidagi yumshoq mikronli birikmalar bilan, donasi 1 mikrondan kam bo'lgan qoziqli polishing yostiqchalari yordamida amalga oshiriladi, ularda submikron kukunli donalarni ko'mish mumkin. Bu donalarning ishchi yuzasini pasaytiradi va plitalarning sirtini yaxshilaydi.
· Kimyoviy va mexanik polishing. U farq qiladi, odatdagi abraziv harakatdan tashqari, sirt kimyoviy hujumga uchraydi. Polishing kompozitsiyalari - ishqor asosida kremniy oksidi (aerosil), tsirkonyum, alyuminiyning submikron kukunlaridan suspenziyalar, sollar, jellar tayyorlanadi.
Biz ACM3 kukunining olmosli suspenziyasi bilan bajariladigan mexanik abrazivni tanlaymiz, bir tomonlama, abraziv yostig'ining aylanish tezligi 30 ... 40 rpmdan oshmaydi. ASM1 kukuniga o'tganda, biz polishing padining aylanish tezligini kamaytiramiz va plastinkadagi yukni oshiramiz. Tozalashdan keyin plastinka sovunli suvda yaxshilab yuvilishi kerak.