Yarim o’tkazgichli Si(P) – kristallarni tezlashtirilgan protonlar bilan nurlantirish natijasida ularning elektrofizikaviy xossalarini o’rganish”

Kimyoviy ishlov asbobning turi va texnologik jarayonnihg borishiga qarab turli usullar bilan bajariladi. Kimyoviy ishlov mexanik ishlovdan so'ng amalga oshiriladi. Uning natijasida yarimo‘tkazgichning mexanik ishlovda buzilgan qatlami yo’qotiladi va sirt tozaligiga erishiladi. Ba’zi hollarda kimyoviy yoki elektrokimyoviy ishlov plastinkalar sirtida turli geometrik relyef (andozalar) olish uchun ham qo’llaniladi.

Kimyoviy qayta ishiovlami bajarish va tugatish diqqat bilan nazorat qilinadi. Ayniqsa, asosiy diqqat kimyoviy reaktivlarga berilishi kerak, ularning tozaligi yarimo’kazgich materiallarning tozalikdan kichik bo‘lmasligi zarur.

Kimyoviy va elektrokimyoviy ishlovni qo’llash bilan quyidagi vazifalarni bajariladi.
1) Sirtni tozalash va turg‘unlashtirish;
2) Sirtni shakllantirish;
3) Yarimo’tkazgich material yoki p-n o’tish sifatini nazorat qilish;
4) Yarimo’tkazgich sirtiga turg'unlovchi, himoyalovchi yoki kontakt hosil qiluvchi qoplamalar o’tqazish;
Yarimo‘tkazgich plastinkalarni organik eritmalarda tozalab yuvish.Bu ko‘rinishdagi ishlov berish kimyoviy reaksiyalar natijasida sirtdagi iflosliklami parchalash yo'Ii bilan tozalashdan iborat.Kimyoviy yog‘sizlantirish deganda ishlov beriluvchi materialga ta'sir qilmaydigan, biroq yog‘ molekulalarini parchalovchi jarayonni bajaruvchi tarkib tushuniladi. Bu jarayonda teskari ifloslanish ro‘y bermay, barcha yog‘ molekulalari eritmaga o‘tadi.Sovunlanish yog‘lariga murakkab efirlar glitserin va yuqori molekulali organik kislotalardan (stearin, olein, palmitin va boshqalar) tarkib topgan o'simlik va hayvon yog'lari kiradi. Masalan, stearinning sovunlanish jarayonini quyidagi tenglamadan ko'rish mumkin.

Bu yerda -sovun (natriy streatri), - gelitserin

Yog'sizlantirish jarayoni turli usullarni qo'llash (botirish, purkash va uitratovush vannalarda) bilan 70 dan 90°C temperaturalarda olib boriladi. Natijada sovunlanish yoki yog‘larning emulsiyasi hamda Mendeleyev davriy sistemasidagi birinchi va ikkinchi guruh elementlarini eritib yaxshi eriydigan komplekslarni bog'laydi. Jarayon organik iflosliklar oksidlanishida karbonat gazining jadal ajralib chiqishi ko'piksimon ko'rinishda o'tadi.
Bu usul sirtni yot atomlar va metall ionlari, yog'li iflosliklar, hamda oksidlar, nitridiar, sulfldlar va boshqa kimyoviy birikmalarda tozalashda qo'llaniladi. Metall ionlarni uzoqlashtirish ularni vodorod ionlari bilan o'rin almashtirishi ko‘rinishida boradi. Metall atomlarini ketkazish uchun metallarni erituvchi kislotalar ishlatiladi. Tozalanuvchi sirtda metall atomlarining qayta adsorbsiyasini bartaraf qilish uchun kompleks hosil qiluvchilar qo'llaniladi. Ular metall ionlar bilan turg'un birikmalar komplekslar hosil qiladi va eritmada qoladi.
Kremniy plastinkalar sirtidan oksid pardalami kyetkazish uchun vodorod ftoridi kislotaning asetondagi eritmasi 1:15 (hajmiy) nisbatda qo'llaniladi.
Bu ishda aseton qoilanilishiga sabab, u kremniy plastinka sirtini ftorli kislota bilan ifloslanishini kamaytiradi va t > u holda reaksiya quyidagicha kechadi: