Yarim o’tkazgichli Si(P) – kristallarni tezlashtirilgan protonlar bilan nurlantirish natijasida ularning elektrofizikaviy xossalarini o’rganish”

Plastinkalarni tekislash va silliqlash. Yarimo‘tkazgichli asboblar, ayniqsa integral mikrosxemalar tayyorlash texnologiyasida tekislash va silliqlash amallari katta ahamiyatga ega. Bu amallar plastinkalarda mexanik buzilgan qatlam va notekisliklarni olib tashlash, kerakli qalinlikka keltirish, plastinkalarning yassi paralelligini yaxshilash, sirt tozaligini talab darajasidagidek olish uchun bajariladi.
Yarimo'tkazgich plastinkalami tekislash va silliqlash uchun turli abraziv materiallardan foydalaniladi.
Yarimo‘tkazgich plastinkalarni tekislashda tekislovchi qattiq disk (cho‘yan, po'lat, jez, shisha va boshqa materiallar) va abraziv mikrokukunlar (donadorligi o'lchamlari 5+220 mkm) dan foydalaniladi. Abraziv mikrokukun materiallarga olmos, kremniy karbidi SiC, bor karbidi B₄C, korund α-Al₂O₃ va boshqalar kiradi.
Siliqlash. Plastinkalarni silliqlash 3 dan 0,25 mkm abraziv yog‘li pastalar singdirilgan yumshoq tagliklar (fetr, velyur yoki batist matolari) yordamida amalga oshiriladi. Yarimo‘tkazgichli plastinkalarni silliqlashda olmos qumlar va qum pasta, kubik bor nitridi, alyuminiy oksidi, seriy oksidlari, xrom va kremniy asosidagi pastalardan foydalaniladi. Silliqiash uchun olmosni qo'llash hamma vaqt ham yaxshi natijalar bermaydi, chunki sirtda mikroskopik shakl olmos dog‘i qoladi. Yumshoq abrazivlardan, masalan, xrom, sirkoniy yoki kremniy oksididan foydalanish unumdorligini kamaytersada, biroq yuqori tozaligidagi sirtni olish imkonini beradi.
Mexanik ishlovdan so‘ng plastinkalar va kristallar sifatini nazorat qilishda e’tibor qaratish kerak bo’lgan muhim kamchiliklar.