Tema : Mikrosxemalar. Mikrosxema elementleri. Mikrosxemalardi belgilew. Elektron ásbaplardıń dinamikalıq jumıs rejimi

Juwmaqlaw
Mikrosxemalardi islep shıǵarıw ańsat jumıs emes, biraq baxtga kóre, insan islep shıǵarıw wazıypasın ılajı bolǵanınsha ápiwayılastiratugin texnologiyalarǵa iye. Quramalılıǵına qaramay, dúnya boylap hár kúni júdá kóp mikrosxemalar islep shiǵarıladı. Olar turaqlı túrde rawajlandirilib , jańa ayirmashiliqlarga iye boladı. Qanday etip bular kishi, biraq aqlli sistemalar? Buǵan mikrosxemalardi islep shıǵarıw ushın úskeneler járdem beredi, bul tiykarınan tómende talqılaw etiledi.
Mikrosxemalarni jaratıwda elektroximiyaliq jatqızıw sistemaları, juwıw kameraları, laboratoriyada oksidleytuǵın kameralar, mıs elektrodozlaw sistemaları, fotolitografik hám basqa texnologiyalıq úskeneler qollanıladı.
Fotolitografik úskeneler mashinasazliqda eń qımbat hám anıq esaplanadı. Ol mólsherlengen chip tapologiyasii jaratıw ushın silikon substratda suwretlerdi, jaratıw ushın juwapker bolıp tabıladı. Fotorezist materialdıń juqa qatlamına qollanıladı, keyinirek ol fotomaska ​​ham optikalıq sistema menen nurlanadi. Úskenenń islewi dawamında naǵıs elementleriniń ólshemleri azayadı.
Jaylasıwdı anıqlaw sistemalarında sızıqlı elektr motor hám lazer interferometri jetekshi rol oynaydı. Biraq, mısalı, Moskva " Amphora" laboratoriyası tárepinen islep shıǵılǵan texnologiyada bunday baylanıs joq. Bul úy-úskene hár eki tárepte de anıqlaw háreket hám tegis tákirarlawǵa iye, bul bolsa keyinge qaytıw múmkinshiligın joq etedi.
Arnawlı filtrler nıqaptı tereń ultrafioletoviy aymaqtan shıǵatugin ıssılıqtan qorǵaydi, uzaq aylıq jumıs ushın temperaturanı 1000 dárejeden asıp ketedi.
Kem energiyalı ionlar kóp qatlamlı qatlamlarǵa qollanılǵanda assimilyatsiya etiledi. Aldin bul jumıs tek magnetronli püskürtme usılı menen ámelge asırılǵan.
Jaratıwdıń pútkil processi yarım ótkezgish kristallarin tańlaw menen baslanadı. Eń áhmiyetlisi silikon. Juqa yarım ótkezgishli gofret ayna suwretine tegislengen. Keleshekte jaratıwdıń májburiy basqıshı súwret sızıwda ultrafioletoviy nurlanıwdan paydalanǵan halda fotolitografiya boladı. Buǵan mikrosxemalardi islep shıǵarıw mashinası járdem beredi.
Mikrosxema ne? Bul juqa kremniy gofretlardan tayarlanǵan sonday kóp qatlamlı bólek. Olardıń hár birine málim bir naǵıs qollanıladı. Naǵıs ózi sızılma fotolitografiya basqıshında jaratılǵan. Plitalar ıqtıyatlılıq penen 700 dárejeden joqarı temperaturalı arnawlı úskenelerge jaylastırıladı. Atıwdan keyin olar suw menen juwıladı.
Kóp qatlamlı plastinka jaratıw procesi eki háptege shekem dawam etedi. Fotolitografiya qálegen nátiyjege eriskenge shekem bir neshe ret ámelge asıriladı.
Mikro-dárejeli bólimlerdi islep shıǵarıw processinde zárúrli zat, mısalı, mikrosxemalar, islep shıǵarıw ushın ımaratlardıń ideal tazalıǵı. Sol sebepli ideal tazalıqtı támiyinlew ushın, birinshi náwbette, tolıq mórlengen, hawanı tazalaw ushın mikrofiltrlar menen úskenelestirilgen arnawlı úskenelestirilgen bólmeler isletiledi, Bul bólmelerde isleytuǵın jumisshilar ol jerga mikrozarreshelerdin kirip keliwine tosqınlıq etetuǵın kombinezonlarga iye. Bunnan tısqarı, bunday bólmelerde málim bir ıǵallıq, hawa temperaturası támiyinlenedi, olar terbelislerden qorǵalgan diywallardan qurılǵan.