Tasdiqlayman” O‘quv ishlari bo‘yicha prorektor “tasdiqlayman” O‘quv ishlari bo‘yicha prorektor

Lazerli o‘lchagichlar. Turli o‘lchagich vositalari bo‘lib, ularda tez ishlash bilan yuqori sifatli fazoviy tarqalish qobiliyati mavjud. O‘lchov axborotni qayta ishlash turlari bo‘yicha qurilmalar quyidagi guruxlarga bo‘linadi:

1. 
   tez nur lazer tizimlari bo‘yicha eng oddiy;
   

2. 
   lazer difraktometr;
   
3. 
   lazer interferametr;
   
4. 
   lazer triangulatsion o‘lchagichlar;
   
5. 
   lazer ellipsometrlar.
   

7.3. Sirt topografiyasi va xajmiy nuqsonlarni nazorat qiluvchi qurilmalar.

Bu qurilmalar 3 ta turga bo‘linadi:

1. 
   YUza g‘adir-budirligini nazorat qiluvchi qurilmalar.
   

Bu holatda yuza nuqsonlariga integral baho beriladi.

2. YUzadagi nuqsonlar va mikrogiametriyani nazorat qiluvchi va o‘lchovchi qurilmalar.

Bunda mahsulotlarda alohida nuqsonlari va ularni chuqurligi tekshiriladi.

3. 
   Tekis yuzali mahsulotlar sifatini nazorat qiluvchi qurilmalar.
   
4. 
   Bu holatda mahsulot yuzasini egilganligi, deformatsiya bo‘lish holati tekshiriladi. Tashqi ko‘rinishni nazorat qilishda asosan interferension qurilmalar qo‘llaniladi. Ularning ishlash prinsipi yorug‘lik to‘lqinlar solishtirilishiga asoslangan. Bu to‘lqinlar esa tekshiriluvchi va etalon mahsulotlardan qaytgan kogeren yorug‘lik nurlardan olinadi.
   

Quyidagi rasmda ikki to‘lqinli mikrointerferometr ko‘rsatilgan.





7.2-rasm.
Nur manbai (1) dagi (lampa) yorug‘lik , kondensor (2) va diafragma (3) dan o‘tadi. Ko‘zgu (4) orqali ikkita kogeren to‘lqinga bo‘linadi. Ular (5) va (5’) ob’ektivlar orqali etalon (6) va tekshiriluvchi mahsulot (7) ga fokuslanadi. Etalondan va mahsulotdan qaytgan nurlar elementlardan o‘tib linza (8) va diafragma(9) orqali okulyar (10) da to‘planadi. Natijada etalon va ishchi yorug‘lik to‘lqinlar o‘zaro ta’sirini interferension rasmi ko‘rsatilinadi.

Kichik notekisliklari (0,02 mkm) mavjud bo‘lgan mahsulotlarni ko‘p marta qaytuvchi nurlar orqali ya’ni ko‘p to‘lqinli interferometrlar bilan tekshiriladi.

Q
uyidagi rasmda ko‘p to‘lqinli mikrointerferometr cxemasi keltirilgan.
7.3-rasm.

1- nur manbai ( past bosimli simob lampa); 2- diafragma; 3- kondensor (yig‘uvchi linza); 4 - ko‘zgu; 5 - yupqa plastina; 6- tekshiriluvchi ob’ekt; 7 - ob’ektiv; 8 - diafragma; 9 - okulyar; 10-filtr.