Т. В. Свистова основы микроэлектроники учебное пособие



Download 2,59 Mb.
Pdf ko'rish
bet27/61
Sana24.02.2022
Hajmi2,59 Mb.
#218460
1   ...   23   24   25   26   27   28   29   30   ...   61
Bog'liq
svistova-t.v.-osnovy-mikroelektroniki (1)

диффузионных 
Д-МДП-транзисторов 
(рис. 2.25) была разработана специально для обеспечения вы-
сокого быстродействия за счет уменьшения длины канала до 
субмикронных размеров.
Рис. 2.25. Структура эпитаксиально-планарного
Д-МДП-транзистора: 1, 7 - диффузионные области истока и 
стока; 2, 5 - шины алюминиевой металлизации; 3 - затвор; 
4 - подзатворный тонкий оксид, 6 - изолирующая область,
8 - эпитаксиальиый слой, 9 - подложка; 10 - область р-типа, 
получаемая методом двойной диффузии для формирования 
канала 
Короткий канал получают по принципу формирования 
тонкой базы в биполярном транзисторе за счет медленного
хорошо контролируемого и управляемого процесса диффузии 
(поэтому Д-МДП, т.е. диффузионный МДП-транзистор). В 
этом транзисторе области канала р-типа, истока n
+
-типа фор-


55 
мируются в процессе двух диффузий в одно и то же окно в ок-
сидной маске. Конструкция Д-МДП-транзистора не требует 
высокой точности совмещения затвора с областями истока и 
стока, как в обычном МДП-транзисторе с индуцированным 
каналом. В связи с этим оказалось возможной реализация 
МДП-структур с длиной канала 0,4 - 1 мкм даже при ограни-
ченных возможностях фотолитографического процесса по раз-
решающей способности. Короткий канал формируется в при-
повехностной области кремния р-типа электропроводности в 
промежутке между двумя р-n-переходами. В обедненной n-
области между каналом и стоком в режиме насыщения элек-
троны, прошедшие канал, инжектируются в область объемного 
пространственного заряда, прилегающую к n
+
-области стока, и 
дрейфуют к стоку в сильном электрическом поле. Такая же об-
ласть дрейфа существует и в обычных МДП-транзисторах при 
U
c
 U
c нас
.
Таким образом, несмотря на различия в конструкциях, в 
принципе работы Д-МДП-транзисторов использованы дости-
жения как биполярной технологии (малое расстояние между 
двумя p-n-переходами), так и технологии изготовления МДП-
структур (формирование тонкого подзатворного диэлектрика с 
малой толщиной, низкой дефектностью и плотностью поверх-
ностных состояний).
Создание Д-МДП-транзисторов с использованием эпи-
таксиальных структур позволяет формировать на одной и той 
же подложке биполярные n-p-n-транзисторы и изолированные 
от них Д-МДП-транзисторы, что имеет исключительное значе-
ние для производства как аналоговых (например, операцион-
ных усилителей), так и логических микросхем.
Недостатком данной структуры является малая плотно-
стью размещения элементов в кристалле, но благодаря своим 
уникальным свойствам транзисторы данного типа могут быть 
использованы в быстродействующих переключающих устрой-
ствах с высоким рабочим напряжением и в устройствах боль-
шой мощности. 


56 

Download 2,59 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   23   24   25   26   27   28   29   30   ...   61




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish