A = P i + P1
V' = И 1+(1 80- А г)]/2
хисоблаш формулаларидан аникланади.
Кейинги йилларда эллипсометрик улчашларнинг сез-
гирлиги жи\атидан юцори, урганиладиган материаллар
доирасининг кенгайишига имкон берадиган, автоматлаш-
тириш кулай булган бир кднча усуллари яратилган.
хр ва А ларнинг тажрибада аникданган к,иймаглари
буйича олдиндан чизилган номограммадан ёки эллипсо
метрия асосий тенгламаси орк,али \исоблаб, ярим>тказ-
гич намуналар оптик константаларининг электрофизик
параметрлари аникланади.
4-Б О К
Н О М У В О З А Н А Т ЗАРЯД Т А Ш У В Ч И Л А Р
П А Р А М Е Т Р Л А Р И Н И У Л Ч А Ш У С У Л Л А Р И
4Л-§. Номувозанат заряд ташувчилар
параметрлари
Яримутказгичлар ташки таъсир остида, яъни ёруглик,
рентген, у — квантлар, тезлантирилган нейтрал, заряд-
’ланган заррачалар хдмда р— п утиш оркали инженция,
электр майдонда зарбдан ионланиш, туннел жараёнлари
туфайли номувозанат заряд ташувчиларнинг пайдо були
ши, генерацияланиши мумкин. Номувозанат заряд та
шувчилар яримутказгич материаллари ла асбобларининг
; электрофизик, фотоэлектрик хоссаларини аниклайди.
Номувозанат заряд ташувчиларнинг дрейф вдракатчан-
лиги (м) диффузия коэффициенти (D), диффузион узун
лик (L ), яшаш вакти (г), сиртий рекомбинация тезлиги
(.S) каби параметрлар билан тавсифланади. Бу параметр-
ларни аниклаш усуллари электрон, кавак узлуксизлик
тенгламаларининг баъзи бир содцалаштирувчи фаразлар
билан берилган бошлангич, чегаравий шартларни кано
атлантирувчи ечимини топишга асосланган. Яримутказ
гич намуналарда номувозанат заряд ташувчилар хусусия-
ти (табиати, хатти-хдракати) куйидаги
1. Электрон, кавак ток зичликлари
Y ,= efl„nE+edngracln
др-ер^Е- edpgradp
(4.1)
(4.2)
2. Узлуксизлик
п
(4.3)
(4.4)
166
тенгламалари системаси ечими билан тавсифланаци:
Бу ерда п=п0+А п ва р =р0+А р — номувозанат холатдаги
заряд ташувчилар (электрон, ковак) тула концентрация
си п0, р!} — мувозанатдаги заряд ташувчилар электрон,
кавак концентрацияси; Ап, Ар — номувозанат заряд та
шувчилар электрон, кавакнинп мувозанат холатдагисига
нисбатан ортикча концентрацияси, Ап, Ар — электрон,
кавак диффузия коэффициентлари; цп, цр — электрон,
кавак харакатчанликлари; гя, т — электрон, кавак яшаш
вакдлари; gn, gp — электрон, кавакни генерациялаш тез-
ликлари.
Фотоинженция (ёруглик орк,али) номувозанат х,олат-
даги заряд ташувчиларни хосил кдлганда генерация тез
лиги
ифода билан топилади. Бу ерда а — ёругликнинг яримуг-
казгичда ютилиш коэффициенти, Ry — ёругликнинг наму
надан кэйтиш коэффициента, hv— фотон энергияси, (i —
заряп, ташувчиларнинг квант чшдигш коэффициенти /(Н, —
ёруглик интенсивлиги. (4.3) ва (4.4) тенгламалардан кури
надики, номувозанат холатдаги заряд ташувчилар кон-
центрацияларининг узгариш тезликлари — , — ни заряд
dt
dt
ташувчиларнинг рекомбинация, генирация, дрейф-диф-
фузия жараёнлари аникдайди. Заряд ташувчилар концен
трацияси фак,ат бир йуналишда, масалан, х — ук,и буйича
узгаради ва электр майдон кучланганлиги Е х ук,и буйича
йуналган булсин деб олинган хол учун, (4.3) ва (4.4) тен-
гламалар (4.1) ва (4.2) ни назарда тутганда, куйидаги кури-
нишни олади:
g=a(5Ive~ax(\- R v)/hv=goe ах
art
dp
Бу ерда
Пуассон тенгламаси
167
(4.7)
билан ифодаланади. Хажмий заряд вужудга келмаганда,
яъни намунада электр нейтраллик шарти А п=Ар бажа-
Do'stlaringiz bilan baham: |