С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

§. Эллипсометрня усули 
Усулнинг мо\ияти
Охирги йилларда илмий-тадкикрт институтларида 
хрзирги замон микроэлектроника саноатида бир жинсли 
ва бир жинсли булмаган материалларнинг (диффузион, 
эпитаксиал кдтламли структуралар) параметрларини кон- 
тактсиз улчаш, назорат кдлиш усулларидан бири булган 
эллипсометрня усули кенг кулланилмокда. Эллипсомет- 
рия усули кутбланган ёрукликни, текширилаётган наму­
на билан узаро таъсирлашиши туфайли, ундан кайтганда 
кутбланиш х,олатининг узгаришини аникдашга асослан­
ган. Чизикди кутбланган ёругликнинг намунадан к,айт- 
гандаги кутбланиш хрлатининг узгариши таъсирлашаёт- 
ган намунанинг х,ажмий хусусиятларига, сиртнинг хосса-
156

---

р 
т
у
ш
и
ш
I
С!
3.6-
рас
м.
Эп
и
т
а
кс
иа
л
к
,а
т
л
а
м
с
и
з 
(а
),
э
п
и
т
а
к
с
и
а
л
к
,а
тл
а
м
ли
(б
),
яри
мут
каз
гич
н
а
м
у
н
а
с
и
р
т
и
д
а
н
к
ай
тг
ан
ч
и
зи
к
д
и
ку
т
б
л
а
н
га
н
ёр
уг
ли
к
н
и
н
г 
(н
у
р
н
и
н
г
) 
й
у
л
и
.

---

. си ва структурасига б о т и к Хозирги замон эллипсо- мет- 
рия усули асосан к,айтган нурни тахдил килишга асос­
ланган.
Чизикди кутбланган ёругликнинг бир жинсли ва эпи­
таксиал катламли намуналардан кайтиши 3.6-расмда кел- 
тирилган. Яримутказгичларда нур синдириш курсаткичи 
комплекс булиши туфайли, чизикди кутбланган ёруглик 
намунадан кайтганда Р  ва S ташкил этувчилари орасида 
фаза фарки пайдо булади, электр майдон кучланганлик- 
лари узгаради ва электр майдон кучланганлиги вектори- 
нинг охири (учи) тар кал и ш йуналишига тик булган те- 
кисликда эллипс чизади, бонщача айтганда, кутбланган 
ёруглик утказувчан намунадан кайтганда эллиптик кутб- 
ланади. Эпитаксиал структураларда эса х,аво эпитаксиал 
катлам ва эпитаксиал катлам таглик чегараларидан кайт 
ган нурлар орасида кушимча фаза фарки вужудга келади. 
Намунадан кдйтган эллиптик кутбланган ёруглик хщати 
одатда иккита эллипсометрик параметрлар 
{гр
ва А ) би­
лан, бошк,ача айтганда, кутбланиш бурчаклари оркали 
аникданади. Бу параметрлар кдйтган эллиптик кутблан­
ган нурнинг таркалиш йуналишига тик текисликдаги 
шаклини ва кандай йуналишда эканлигини курсатади. 
Параметр 
гр
бурчак тушаётган ва кайтаётган нурларнинг 
Р  ва S ташкил этувчилари электр майдон кучланганлик- 
лари амплитудаларининг узаро нисбати, яъни кайтиш ко­
эффициентлари нисбати билан аникданади:
-
(
Е 'Р к а й 1 Е 'Рка й > 
_ \ ГР
I
tg1p-~7F
—
Т
е
— 7 ~ Т Г Т
<3-58)
Р т у ш '
£
S т уш >
| ^ |
бу ерда: S — (индекс-курсаткич) — тушиш текислигига 
тик текисликда чизикди кутбланган ёругликни, Р  — (ин- 
декс-курсаткич) тушиш текислигида чизикди кутбланган 
ёрутикка тегишли эканлигини курсатади. г , г  — ёруг­
ликнинг S ва Р — ташкил этувчилари учун кайтиш коэф­
фициенти. Намунага тушаётган ёруглик чизикди кутблан­
ган деб фараз килинади, яъни тушаётган ёругликнинг Р  
ва S — ташкил этувчилари фазалари бир-бирига тугри 
(мос) келади. Уз навбатида, ёругликни Р  ва S — ташкил 
этувчилари нинг (3.58) ифодадаги комплекс кайтиш ко-
158

---

эффициентлари нисбати куйидагича ифодаланиши мум­
кин.
= e,Atgtp